การทำให้ wafer ของเซ็นเซอร์ MEMS แห้งด้วยรังสีอินฟราเรด เมื่อต้องการทำให้ wafer ของเซ็นเซอร์ MEMS แห้ง จำเป็นต้องหาจุดสมดุลที่เหมาะสม...

เลิกใช้วิธีการให้ความร้อนกับผนังเครื่องจักรเถอะ… นี่คือวิธีที่ดีกว่าในการทำให้เวเฟอร์แห้ง หากคุณเคยดูแลกระบวนการทำให้เวเฟอร์แห้งมาก่อน...

ในกระบวนการผลิตแบบ 200 มม. การทำให้แผ่นวัสดุแห้งหลังจากการทำความสะอาดนั้นไม่ใช่เพียงแค่ช่วงเวลาที่เครื่องหยุดทำงานเท่านั้น...