ในห้องผลิต ปัญหาเรื่องการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิระหว่างกระบวนการอบ หรือจุดที่มีอุณหภูมิต่ำในห้องอบ ล้วนส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพของกระบวนการผลิต ประสิทธิภาพการผลิตจะลดลงก่อนที่ชิ้นงานจะออกมาจากห้องสะอาดเสียอีก เราได้ออกแบบท่อเครื่องทำความร้อนจากควอตซ์ขึ้นมาเพื่อป้องกันปัญหาเหล่านี้ โดยการรักษาอุณหภูมิให้อยู่ในระดับที่เหมาะสมตามที่กระบวนการต้องการ ไม่ใช่อุณหภูมิที่เกิดจากตัวเครื่องทำความร้อนเอง
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค ท่อนี้สามารถส่งคลื่นอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นผ่านควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงได้ ดังนั้นจึงสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างรวดเร็ว โดยมีความคงที่ของอุณหภูมิอยู่ที่ ±0.1°C ตลอดความยาวของท่อ นอกจากนี้ยังสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำตั้งแต่ 150°C ไปจนถึง 350°C ในสภาพแวดล้อมระดับ Class 1–100 วัสดุและอุปกรณ์ปิดผนึกถูกเลือกมาเพื่อลดปริมาณอนุภาค ไม่มีการปล่อยก๊าซออกมา และไม่มีการปนเปื้อนของฟิล์ม ความหนาแน่นของพลังงานถูกปรับให้เหมาะสมกับแต่ละโซนของเตาอบ และอุปกรณ์ต่อพ่วงก็ถูกออกแบบมาเพื่อให้สามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมที่มีไฟฟ้าสถิต
นี่คือเหตุผลว่าทำไมท่อนี้จึงสามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพในสภาพแวดล้อมจริง
การอบและทำความสะอาดวัสดุต้องมีความสม่ำเสมอ หากมีความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิ ก็จะทำให้เกิดรอยน้ำและข้อบกพร่องต่างๆ ในกระบวนการ Lithography การอบวัสดุด้วยแสงมีความสำคัญมากต่อการกำหนดขนาดของวัสดุ ท่อนี้ช่วยให้อุณหภูมิของวัสดุอยู่ในเกณฑ์ที่กำหนด ทำให้ลดปริมาณวัสดุที่เสียหายและการต้องแก้ไขวัสดุซ้ำๆ สำหรับการบรรจุภัณฑ์ การอบและการเติมวัสดุเข้าไปในวัสดุก็ต้องมีความสม่ำเสมอเช่นกัน ท่อนี้ช่วยให้ไม่มีจุดที่มีอุณหภูมิสูงเกินไป ซึ่งอาจทำให้วัสดุแตกได้ ผลลัพธ์ก็คือ มีความผันผวนของพารามิเตอร์น้อยลง ใช้พลังงานน้อยลงต่อแต่ละชิ้นงาน และมีระยะเวลาการบำรุงรักษาที่ยาวนานขึ้น
ข้อควรระวังเล็กน้อย ควอตซ์ไม่สามารถทนต่อแรงกระแทกทางกลหรือความเครียดทางความร้อนได้ ดังนั้นอุปกรณ์ที่ใช้ยึดท่อจึงต้องสามารถรองรับท่อได้โดยไม่มีการกดทับ และต้องมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเหมาะสม ควรตรวจสอบระยะห่างระหว่างท่อกับโครงสร้างของเตาอบอย่างละเอียด และตรวจสอบความเข้ากันได้ของแรงดันไฟฟ้าและระบบระบายความร้อนกับเตาอบด้วย ควรมีการตรวจสอบอุปกรณ์ปิดผนึกและอุปกรณ์ต่อพ่วงเป็นประจำ เพื่อให้อุปกรณ์สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพต่อไป