Почему мы отказываемся от использования горячего воздуха в процессе глубокой обработки?
Подумайте о принципе работы конвекционной печи: сначала нагревается воздух, а затем этот воздух нагревает продукт. Это создает задержку. В производстве полупроводников такая задержка является серьезной проблемой – это потеря времени, которую мы себе позволить не можем.
Поэтому мы используем инфракрасные лампы высокой чистоты. Таким образом мы полностью избавляемся от необходимости использования воздуха в качестве посредника для передачи тепла.
Разница в скорости нагрева просто огромна. Поскольку инфракрасные лампы используют электромагнитное излучение, тепло достигает пластины мгновенно, как только вы включаете лампу. У систем с горячим воздухом же требуется время на стабилизацию температуры, что занимает несколько минут. Инфракрасная лампа достигает нужной температуры за секунды.
Это очень быстро. И это меняет все в процессе производства: вы можете обработать больше пластин за одну смену.
Теперь давайте поговорим о чистоте в чистых зонах. Выделение примесей – это проблема. Обычные лампы могут выделять примеси, но наши лампы высокой чистоты используют высококачественный синтетический кварц и специальные уплотнители. Нет выделения частиц. Никаких неожиданностей. Мы сохраняем высокую плотность мощности, чтобы вся установка не занимала слишком много места.
Но есть один нюанс: нужно следить за источником питания. Эти лампы требуют большого количества энергии. Если ваш трансформатор не справляется с такой нагрузкой, произойдет падение напряжения. А при падении напряжения нарушается равномерность температуры.
Это не так просто, как кажется. Переход с использования горячего воздуха на инфракрасные лампы требует тщательного планирования. Инфракрасное излучение имеет направленность, поэтому необходимо точно контролировать распределение тепла. Даже небольшая ошибка может привести к появлению холодных зон и неоднородности температуры на пластине. Это требует тщательной настройки.
Мой совет: не меняйте все сразу. Начните с тех зон, где время является ключевым фактором. Достигните желаемого теплового профиля, а затем переходите к остальным зонам.
Настоящая выгода заключается не только в мощности ламп, но и в их эффективности. Вы тратите гораздо меньше времени на получение такого же результата.