Лампа для высушивания фотополимера для обеспечения однородности
На этапе литографии процесс высушивания фотополимера не является просто периодом ожидания – это важный элемент контроля. Если процесс высушивания не...
Лампа для запекания фоторезиста
На литографическом этаже мягкое и жесткое запекание — это не просто этапы, а термические рукопожатия. Полу-градусное смещение изменяет смещение CD, а...