적외선 가열을 이용한 반도체 처리용 글로브박스의 건조 방식
솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐은 사용하기가 불편합니다. 특히 우리 모두가 유해물질이 없는 친환경적인 기준을 추구하고 있는 지금은 더욱 그렇습니다. 그래서 저희는 글로브박스에서 적외선 가열 방식을 사용하고 있습니다.
적외선은 따뜻한 공기를 순환시키는 대신 복사열을 이용합니다. 이 방식은 훨씬 더 깨끗한 방법입니다. 오염된 공기가 순환하는 것이나, 물건을 더 빨리 건조시키기 위해 화학 용매를 사용할 필요가 없습니다.
열이 실제로 어떻게 작용하는지
일반적인 오븐의 경우, 먼저 공기가 따뜻해지고, 그 다음에 그 따뜻한 공기가 부품을 가열합니다. 이 과정은 매우 느리고 번거롭습니다.
반면 적외선은 전자기파를 방출하여 직접 부품을 가열합니다. 그 결과, 거의 즉각적으로 열이 전달됩니다. 질소나 아르곤이 포함된 글로브박스에서 작업할 때, 가스의 균형을 해치거나 산화 위험 없이 원하는 열량을 얻을 수 있는 유일한 방법입니다.
주의해야 할 점들과 그 해결 방법
이 방식은 그냥 켜놓기만 하면 되는 것이 아닙니다. 재료의 두께에 따라 적절한 파장을 선택해야 합니다.
얇은 필름을 처리할 때는 짧은 파장의 적외선이 가장 효과적입니다. 하지만 거리 조절에 주의해야 합니다. 너무 가까우면 부품이 손상될 수 있고, 너무 멀면 원하는 효율을 얻을 수 없습니다.
또한, 전력 공급도 중요합니다. 고출력의 적외선 램프는 많은 전류를 소비합니다. 배선이 제대로 되어 있지 않으면 전압 강하가 발생하여 처리 효율이 떨어집니다.
왜 이 방식이 지구에 좋은지
가장 좋은 점은 적외선 가열이 ‘건조’ 방식이라는 것입니다. VOC나 납이 함유된 용제가 필요 없습니다. 스위치를 켜면 즉시 열이 발생하여 부품이 경화됩니다. 스위치를 끄면 열도 거의 즉시 사라집니다. 열의 지연 현상도 없습니다. 몇 시간 동안 오븐이 식기를 기다릴 필요도 없습니다. 정말 간단한 방식입니다.