真空チャンバー用赤外線ヒーター

もう、ヒーターを待つのはやめましょう：真空赤外線加熱の真実 もしまだ半導体処理において熱風循環に頼っているのであれば、それは時間との戦いに負けていることに他なりません。 問題は、真空状態では空気が存在しないため、ウエハーに熱を直接与えることができないという点です。そこで役立つのが真空赤外線加熱器で...