در خط لیتوگرافی، تغییر دما در حین فرآیند پختن رزیست، حتی ۲ درجه سانتیگراد، میتواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. ما کلیپهای مربوط به لامپهای مادون قرمز را بازطراحی کردیم تا یکنواختی دمایی در سراسر ویفر حفظ شود؛ چرا که در این صنعت، بازدهی تولید به اختلافات دمایی بستگی دارد.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
این کلیپ، لامپهای مادون قرمز را در جای خود نگه میدارد تا موقعیت آنها یکنواخت باقی بماند؛ در نتیجه، هماهنگی بین کوارتز و منبع نور و فاصله کانونی نیز حفظ میشود. این کلیپ، پروفیلهای مربوط به امواج کوتاه و متوسط را نیز پوشش میدهد؛ بنابراین پاسخ حرارتی سریعی ارائه میشود و اختلافات دمایی به حداقل میرسد. پلیمرها و روکشهای فلزی مورد استفاده، تولید ذرات را به حداقل میرسانند؛ بنابراین این کلیپ برای استفاده در اتاقهای پاک مناسب است. نتیجه این کار، دماهای پایدار در فرآیندهای پختن، کنترل دقیقتر عرض ویفر، و استفاده از عرضهای قابل پیشبینی است.
چرا این کلیپ در فرآیند پردازش ویفر مفید است؟
بودجه حرارتی در این فرآیند تغییر نمیکند؛ این کلیپ، پروفیل حرارتی را ثابت نگه میدارد و باعث کاهش نیاز به بازکاری و اشکالات ناشی از رزیست میشود. این کلیپ، لامپها را در طول ۲۴ ساعت شبانهروز در جای خود نگه میدارد؛ بنابراین باعث کاهش زمان توقف غیرمنتظره و مصرف انرژی ناشی از فرآیندهای گرمایشی میشود. شما همچنین میتوانید سرعت تأیید فرآیندهای تولید را افزایش دهید، تکرارپذیری فرآیندها را بهبود بخشید، و از اختلافات ناشی از تغییرات دمایی یا عدم هماهنگی لامپها جلوگیری کنید.
نکات مهم:
نصب این کلیپ نیازمند استفاده از گشتاور دقیق و قرارگیری صحیح لامپها است؛ اگر گشتاور مناسبی استفاده نشود، پروفیل حرارتی میتواند چند دهم درجه تغییر کند. این کلیپ با ریلهای معمولی نصب میشود، اما در برخی موارد، نیاز به استفاده از قطعات ویژه میباشد. همچنین، باید به طور دورهای بررسیهای هماهنگی انجام شود و از روشهای مناسب برای حفظ پاکیزگی اتاقهای پاک استفاده شود تا عملکرد این کلیپ به بهترین شکل حفظ شود.