جلوگیری از خرابی لامپها و تخریب ویفرها
در ایستگاههای شستشوی نیمههادی، خرابی لامپها صرفاً مشکلی ساده یا از دست رفتن زمان کاری نیست؛ بلکه یک فاجعه واقعی است.
وقتی لوله کوارتز تحت فشار زیادی خراب میشود، تکههای شیشهای و رشتههای تنگستنی روی ویفرها میافتند؛ این کار باعث خرابی کل محموله ویفرها میشود. ما لامپهای مقاوم در برابر آب را به گونهای طراحی کردهایم که چنین اتفاقی رخ ندهد.
چرا لامپها خراب میشوند؟
محیطهای شستشو واقعاً سختگیرانه هستند؛ منابع حرارتی با توان بالا، در فاصله کمی از آب قرار دارند. تغییرات دما نیز بسیار زیاد است. اگر یک قطره آب به لوله کوارتز داغ برخورد کند، لوله мгновенно میشکند. برای جلوگیری از این اتفاق، ما عنصر الکتریکی لامپ را در یک پوشش ویژه مقاوم در برابر آب قرار دادیم؛ این پوشش مانع از تماس آب و گرما با لامپ میشود.
جلوگیری از ورود ذرات شیشهای به ویفرها
ما فقط انتهای لامپها را بستیم؛ بلکه روی کنترل ورود ذرات شیشهای به ویفرها نیز تمرکز کردیم. اگر رشته الکتریکی لامپ خراب شود یا لوله داخلی آن شکسته شود، پوشش محافظ، تمام ذرات شیشهای را در خود نگه میدارد؛ بنابراین نیازی نیست نگران ورود ذرات شیشهای به ویفرها باشید.
همچنین، از مواد با خلوص بالا برای ساخت این پوشش استفاده کردهایم؛ بنابراین گرما همچنان میتواند از پوشش عبور کند. این روش باعث میشود که دمای سطح لامپ در حد مورد نیاز باقی بماند، بدون اینکه به فرآیند شستشو آسیبی برسد.
توازنهای لازم
هیچ چیز کامل نیست. اضافه کردن این لایه محافظ، موجب ایجاد کمی تأخیر در گرم شدن لامپ میشود؛ بنابراین لازم است تنظیمات PID را به گونهای انجام دهید که دمای سطح لامپ در حد مورد نیاز باقی بماند.
همچنین، باید مراقب درزهای لامپها نیز باشید؛ پیشنهاد میکنیم هر ۵۰۰ ساعت، درزها را بررسی کنید. اگر درزها دچار مشکل شوند، رطوبت وارد لامپ میشود و دوباره با مشکلات مربوط به شوک حرارتی روبرو خواهید شد. همچنین، از سیمهای با تحمل دمای بالا برای ساخت سیستمهای رسانایی استفاده کنید تا کانکتورها در دماهای بالا ذوب نشوند.