Verhindern Sie, dass Ihre Heizlampen das gesamte Gerät überhitzt
Wenn die IR-Strahlung in das Gehäuse des Geräts gelangt, liegt ein Konstruktionsproblem vor – ganz einfach.
Wenn Sie Hochleistungs-IR-Lampen verwenden, bleibt die Strahlung nicht nur auf dem Wafer haften – sie breitet sich aus. Wenn Sie nicht kontrollieren, wohin diese Wärme wandert, nehmen die inneren Wände des Geräts all diese Energie auf. Schon bald wird die Außenhülle so heiß, dass sie jemanden verbrennen kann. Zudem müssen die Kühllüfter ununterbrochen arbeiten, um die Hitze zu kompensieren.
Die Wärme an den richtigen Ort leiten
Der Trick besteht darin, die IR-Quelle mit einem Reflektor zu kombinieren, der wirklich weiß, was er tut.
Eine herkömmliche Lampe strahlt in alle Richtungen – insgesamt 360 Grad. Wenn man die Lampe in einen parabolischen oder elliptischen Reflektor setzt, zwingt man die Photonen dazu, gerade auf den Wafer zu treffen. Es geht dabei nicht nur darum, den Prozess zu beschleunigen – es geht auch darum, die „verirrte“ Wärme davon abzuhalten, das Gerätegehäuse zu überhitzen.
Die Materialien spielen eine wichtige Rolle
Wir verwenden in der Regel goldbeschichtetes Aluminium oder Aluminium von hoher Reinheit. Gold ist hier der Goldstandard, denn es reflektiert IR-Licht hervorragend.
Falls der Reflektor zu viel Wärme aufnimmt, kann er verformt oder oxidiert werden. Dann verschiebt sich der Fokuspunkt – plötzlich entstehen „kalte Stellen“ auf dem Wafer, und man ist wieder bei Null.
Achten Sie außerdem genau auf die Toleranzen. Selbst eine kleine Fehlstellung beim Einsetzen der Lampe kann dazu führen, dass der Strahl um einige Millimeter abweicht. Das reicht bereits aus, um den Prozess zu stören und das Gehäuse wieder zu überhitzen.
Tipps für die praktische Anwendung
Stellen Sie sicher, dass die Reflektoren mit vibrationsfesten Halterungen befestigt sind. In Produktionsumgebungen herrscht viel Lärm – Maschinen machen Geräusche. Wenn sich die Lampe auch nur geringfügig bewegt, verschiebt sich auch der Strahl. Verwenden Sie daher starre Befestigungssysteme, damit alles an seinem Platz bleibt.
Und vergessen Sie nicht: Je mehr Wärmeenergie auf den Wafer gerichtet wird, desto mehr wird der hintere Teil der Lampe überhitzt. Stellen Sie sicher, dass Ihr Kühlsystem mit dieser Wärme umgehen kann – sonst könnte Ihre Stromversorgung beschädigt werden.