Di lantai pengeluaran wafer ini, seseorang akan belajar dengan cepat: perubahan suhu sebanyak 1°C semasa proses pembakaran bahan photoresist boleh merosakkan keseluruhan kumpulan produk berukuran 300mm tersebut. Kekonsistenan suhu bukan sekadar petunjuk statistik semata-mata; ia merupakan faktor penting yang menentukan sama ada produk dapat dihasilkan dengan berkualiti atau tidak. Kami telah mencipta tiub pemanas inframerah yang tahan lama untuk memastikan kekonsistenan suhu tersebut.
Apa yang penting dari segi teknikalnya
Kami menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek yang terletak di dalam selubung kuarsa. Responnya sangat cepat, dan output radiasi tetap stabil. Di kawasan yang dipanaskan, kekonsistenan suhu berada dalam julat ±0.1°C, dan kebolehulangan hasil pengeluaran ditentukan berdasarkan setiap kumpulan produk, bukan setiap hari. Tiub-tiub ini tidak menghasilkan zarah-zarah, jadi jumlah zarah di bilik bersih tetap berada dalam lingkungan Class 1–100.
Kami menyasarkan jangka hayat tiub ini melebihi 5,000 jam, dengan penurunan output kurang dari 5%. Ini bermakna kurangnya keperluan untuk mengganti tiub tersebut, serta masa henti yang lebih sedikit.
Mengapa ia berkesan semasa proses pembakaran
Proses pembakaran yang lembut atau keras akan menentukan profil bahan photoresist, yang seterusnya mempengaruhi kawalan lebar garis pada permukaan wafer. Dengan tiub ini, substrat dapat dipanaskan secara langsung, sehingga kelewatan haba berkurangan, dan perbezaan suhu di kawasan panas juga berkurangan. Ini seterusnya membantu mencapai kekonsistenan yang lebih baik, mengurangkan keperluan untuk melakukan kerja-kerja pembaikan, dan menjaga kestabilan suhu dari satu syif ke syif yang lain. Penggunaan tenaga juga berkurangan, kerana pemancar dapat mencapai suhu yang ditetapkan dengan cepat tanpa perlu menggunakan tenaga yang berlebihan. Proses pengeluaran juga menjadi lebih efisien.
Apa yang perlu diperhatikan
Pemasangan tiub ini memerlukan penyesuaian optik yang tepat, serta penggunaan reflektor yang sesuai agar pancaran radiasi berada di tempat yang sepatutnya. Tiub ini boleh digunakan bersama-sama dengan peralatan semikonduktor biasa, tetapi perlu ada reka bentuk yang tepat untuk mengelakkan masalah suhu yang berlebihan. Pastikan voltan yang digunakan berada dalam julat yang ditetapkan; jika tidak, tiub tersebut akan cepat rosak, dan panjang gelombangnya akan berubah, yang seterusnya mempengaruhi penyerapan cahaya oleh bahan photoresist. Selain itu, pastikan proses penyejukan dilakukan dengan betul; ini akan melindungi kuarsa dan memastikan kestabilan jangka panjang.