熱を適切な場所に導く：IRシステム用のアルミニウム反射板 半導体製造工場では、熱というのは厄介な問題です。単に部品を温めるだけでは不十分で、エネルギーを無駄にしないように正確に制御する必要があります。そこで役立つのがアルミニウム反射板です。これらは、赤外線を鏡のように反射させ、そのエネルギーをウェ...

なぜセラミック製のエンドキャップがウェーハを守るのか 高負荷の半導体装置では、ランプが故障すると大変な問題になります。停電による損失だけでなく、石英管が破裂した場合に起こることも問題です。 ガラスの破片や金属片がシリコンウェーハに降り注ぐのを想像してみてください。それは即座の災害です。めちゃくちゃ...

真空チェンバーを過度に加熱しないようにしましょう 半製品の製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを適切な温度に保つ必要がありますが、その過程で装置全体が焼けてしまっては困ります。 問題は、一般的なIRランプは実質的には強化された電球のようなもので、熱をあらゆる方向に...