MEMSセンサーウェーハ乾燥ヒーター

赤外線を利用したMEMSウェーハの乾燥処理 MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させる際には、適切なバランスを見つける必要があります。水分を取り除く必要はありますが、同時に残留物を残してはいけません。また、ハードウェアに過度な負担をかけてはなりません。 そのため、私たちは赤外線を利用するのです。化学薬...