なぜセラミック製のエンドキャップがウェーハを守るのか
高負荷の半導体装置では、ランプが故障すると大変な問題になります。停電による損失だけでなく、石英管が破裂した場合に起こることも問題です。
ガラスの破片や金属片がシリコンウェーハに降り注ぐのを想像してみてください。それは即座の災害です。めちゃくちゃになり、費用もかかり、歩留まりも低下します。
私たちは、高純度のセラミック製エンドキャップをIRエミッターに取り付けることで、このような問題を防ぐ方法を見つけました。
通常、問題が発生する箇所
ほとんどのIRランプは、タングステンフィラメントと外部の接続部が接する部分で故障します。実際、金属と石英は加熱されると同じ割合で膨張しません。激しい温度変化があると、その差によって大きな応力が生じます。もしシール部分が割れると、酸素が中に入り込み、フィラメントが瞬時に焼き切れてしまいます。その結果、チューブが内側に崩れたり、完全に壊れたりします。
セラミック製のエンドキャップを使えば、このような熱応力を吸収し、石英が高ワット数の状態でも曲がらないようにできます。これにより、全体が安定します。
破片の拡散を防ぐ
通常のランプの場合、破裂すると破片が至る所に飛び散ります。しかし、私たちの設計では、内部のフィラメントが壊れても、セラミックキャップがケースをしっかりと固定してくれます。そうすることで、破片がウェーハ表面に付着するのを防ぎます。これは、大規模な清掃や無駄な材料の削減に役立ちます。
注意点
もちろん、いくつかのデメリットもあります。セラミック製のエンドキャップを使うと、エミッターの長さが少し増えます。そのため、通常のランプ用に作られたケースには適用できません。必ずスペースを確認し、十分な余裕があることを確認してください。また、セラミックはもろい素材です。熱には強いですが、重力には弱いです。コンクリートの床に落とすと、おそらく割れてしまいます。
しかし、実際の使用においては、これは大きな利点です。激しい熱に耐えられるランプが手に入り、ウェーハが全滅する心配もありません。