वेफर फ्लोर पर काम करते समय तेजी से सीखना आवश्यक है – फोटोरेसिस्ट को गर्म करने के दौरान 1°C का भी अंतर पूरे 300 मिमी आकार के उत्पादों को नष्ट कर सकता है। तापमान की एकरूपता केवल एक मापदंड नहीं है; यह तो उत्पादों की गुणवत्ता एवं अपशिष्ट उत्पादों के बीच का अंतर है। हमने ऐसे इन्फ्रारेड हीटिंग ट्यूब विकसित किए हैं, जो इसी लक्ष्य को पूरा कर सकें।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज कवर के अंदर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं। इनकी प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं विकिरण की मात्रा स्थिर रहती है। गर्म होने वाले क्षेत्र में तापमान की एकरूपता ±0.1°C के भीतर रहती है, एवं प्रत्येक बैच में ही इसकी जाँच की जाती है। ये ट्यूब कोई कण नहीं उत्पन्न करते, इसलिए क्लीनरूम में कणों की संख्या क्लास 1–100 के दायरे में ही रहती है।
हमारा लक्ष्य 5,000 घंटे से अधिक का उपयोग करना है, एवं उत्पादन में 5% से कम की कमी होनी चाहिए। इससे आश्चर्यजनक परिवर्तनों एवं बंद होने के समय में कमी आती है।
फोटोरेसिस्ट को गर्म करने में ये ट्यूब क्यों कारगर हैं?
“सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं के दौरान फोटोरेसिस्ट की संरचना निर्धारित होती है, जिससे उत्पादों की गुणवत्ता बनी रहती है। इन ट्यूबों के उपयोग से सब्सट्रेट को सीधे गर्म किया जाता है, इससे तापीय विलंबता कम हो जाती है, एवं किनारों पर दोष भी नहीं बनते।
इसका परिणाम यह है कि उत्पादों में तापमान की एकरूपता बढ़ जाती है, पुनर्निर्माण की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं प्रत्येक शिफ्ट में तापीय स्थिरता बनी रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि एमिटर तेजी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाते हैं, एवं वहाँ ही रहते हैं।
क्या करना आवश्यक है?
इन ट्यूबों की स्थापना हेतु सटीक ऑप्टिकल अलाइनमेंट आवश्यक है, एवं विकिरण को सही दिशा में भेजने हेतु विशेष रिफ्लेक्टरों का उपयोग आवश्यक है। ये ट्यूब मानक सेमीकंडक्टर उपकरणों के साथ भी काम कर सकते हैं, लेकिन तापीय संबंधों को ठीक से व्यवस्थित करना आवश्यक है, ताकि कोई समस्या न हो।
निर्धारित वोल्टेज सीमा के भीतर ही उपयोग करना आवश्यक है – वोल्टेज में बदलाव से ट्यूब जल्दी ही खराब हो जाते हैं, एवं तरंगदैर्घ्य में भी परिवर्तन हो जाता है, जिससे फोटोरेसिस्ट में अवशोषण में भी परिवर्तन हो जाता है। हमेशा नियंत्रित तापमान में ही ट्यूबों को ठंडा करना आवश्यक है; ऐसा करने से क्वार्ट्ज की सुरक्षा होती है, एवं दीर्घकालिक स्थिरता भी बनी रहती है।