लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 2°C का अंतर ही पूरी प्रक्रिया को व्यर्थ बना सकता है। हमने इन्फ्रारेड लैंपों को ऐसे ढंग से लगाया कि वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे। क्योंकि इस उद्योग में उत्पादन दर, तापमान में होने वाले अंतरों पर ही निर्भर है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
यह क्लिप, इन्फ्रारेड लैंपों को सही स्थान पर रखती है; इससे क्वार्ट्ज एवं एमिटर का संरेखण एवं फोकल दूरी स्थिर रहती है। यह छोटी एवं मध्यम तरंगदैर्घ्यों के लिए भी उपयुक्त है; इससे त्वरित तापीय प्रतिक्रिया मिलती है, एवं अनावश्यक तापमान वृद्धि नहीं होती। क्लीनरूम-अनुकूल पॉलिमर एवं धातु सामग्रियों के कारण कणों का उत्पादन न्यूनतम रहता है… जिससे क्लास 1–100 के वातावरण में भी उत्पादन संभव हो जाता है। इसका परिणाम है – स्थिर तापमान, बेहतर नियंत्रण, एवं विश्वसनीय उत्पादन प्रक्रिया।
वेफर प्रसंस्करण में इसका महत्व क्यों है?
तापीय मान स्थिर रहते हैं… इस क्लिप के कारण उत्पादन प्रक्रिया में कोई व्यवधान नहीं आता, एवं फोटोरेजिस्ट संबंधी दोष भी कम हो जाते हैं। यह क्लिप, 24/7 चलने वाली मशीनों में भी लैंपों को स्थिर रखती है… जिससे अनावश्यक बंद्शन एवं ऊर्जा खर्च भी कम हो जाता है। इससे उत्पादन प्रक्रिया में तेजी आती है, पुनरावृत्ति की दर बढ़ जाती है… एवं लैंपों के विचलन/असंरेखण से होने वाली समस्याएँ भी कम हो जाती हैं।
उपयोग संबंधी नोट्स:
इसकी स्थापना हेतु सटीक टॉर्क एवं लैंपों का सही स्थान आवश्यक है… यदि टॉर्क सही न हो, तो तापीय मान में कुछ डिग्री का अंतर आ सकता है। यह क्लिप मानक माउंटिंग रेलों पर ही लग सकती है… लेकिन पुराने मॉडलों में तो विशेष उपकरणों की आवश्यकता होती है। नियमित रूप से संरेखण जाँच करना आवश्यक है… ताकि कणों का उत्पादन न्यूनतम रहे।