वेफर फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर ही सुखाया जाना आवश्यक है… ऐसा न करने से उत्पादन में कमी आ जाती है। सॉफ्ट बेक या हार्ड बेक के दौरान 2°C का अंतर भी महत्वपूर्ण है… ऐसे में वेफर के आयाम बदल जाते हैं, एवं दोष भी पैदा हो जाते हैं। हमने अपने इन्फ्रारेड लैंपों को ठीक इसी उद्देश्य हेतु डिज़ाइन किया है… ताकि वेफर टूलों को आवश्यक ऊष्मा स्थिरता प्राप्त हो सके।
तकनीकी दृष्टि से, वही चीजें महत्वपूर्ण हैं जो वास्तविक उत्पादन प्रक्रिया में महत्वपूर्ण हैं।
हमने शॉर्ट-वेव एवं मीडियम-वेव इन्फ्रारेड एमिटरों को क्वार्ट्ज घटकों के साथ जोड़ा है… ताकि तेज़ एवं निर्देशित ऊष्मा प्रदान की जा सके, एवं लंबे समय तक उपयोग किया जा सके। वेफर पर ऊष्मा स्थिरता ±0.1°C होनी चाहिए… एवं विभिन्न बार उत्पादन में ऊष्मा स्थिरता ±0.5°C के भीतर ही रहनी चाहिए। 5,000 घंटों तक ऊष्मा स्थिरता 2% से कम ही रहनी चाहिए। यह उपकरण 24/7 उपयोग हेतु डिज़ाइन किया गया है… एवं इसमें कनेक्टर एवं माउंटिंग विकल्प भी उपलब्ध हैं।
यही कारण है कि यह उपकरण लिथोग्राफी प्रक्रिया में कारगर साबित होता है।
यह उपकरण फोटोरेजिस्ट को सही तापमान पर ही सुखाता है… ताकि कोई अतिरिक्त ऊष्मा न उत्पन्न हो। क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप होने हेतु, कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है… ताकि कणों की संख्या नियंत्रित रह सके। इन्फ्रारेड लैंप सीधे ही फोटोरेजिस्ट को गर्म करता है… इससे कम ऊष्मा बर्बाद होती है, एवं ऊर्जा की खपत भी कम होती है। कम लैंप बदलने से अनप्लान्ड डाउनटाइम भी कम हो जाता है… एवं सही तापमान नियंत्रण से CD कंट्रोल एवं लाइन-एज रफनेस भी बेहतर हो जाती है।
कुछ व्यावहारिक बातें…
एमिटर के स्पेक्ट्रम को आपके फोटोरेजिस्ट की संवेदनशीलता के अनुरूप ही रखें… एवं लैंप के फोकल प्लेन को वेफर के प्लेन के साथ ही संरेखित करें। गलत संरेखण से वेफर पर असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं। वॉर्म-अप के दौरान थोड़ी ऊष्मा उत्पन्न होती है… इसे उत्पादन प्रक्रिया में ही शामिल कर लेना चाहिए। अपने उपकरण के वोल्टेज एवं इंटरलॉक लॉजिक की जाँच जरूर करें… वायरिंग में गड़बड़ी से लैंप की आयु कम हो जाती है, एवं सुरक्षा समस्याएँ भी पैदा हो जाती हैं।