फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्टर बेक प्रोफाइल का मुख्य आधार होता है: लैंप एरे की स्थिरता। यदि आपका सॉफ्ट बेक 0.5°C तक भी डिफ्ट करता है, तो CD नियंत्रण बिगड़ जाता है। हार्ड बेक 1.0°C तक विचलित हो तो स्कम्मिंग और अवशेष नजर आने लगते हैं। हमने लैंप के लिए SCR पावर रेगुलेटर बनाया है ताकि आप इन तापमान विंडो को स्थिर रख सकें—शिफ्ट के बाद शिफ्ट।
तकनीकी दृष्टिकोण से महत्वपूर्ण
रेगुलेटर में सिलिकॉन-कंट्रोल्ड रेक्टिफायर टोपोलॉजी और क्लोज्ड-लूप करंट सेंसिंग का उपयोग होता है। आपको 0.1% पावर रेज़ोल्यूशन और ±0.1°C की स्थिर-राज्य तापमान समानता मिलती है पूरे लैंप कवर के ऊपर। यह हैलोजन, क्वार्ट्ज, शॉर्ट-वेव, मीडियम-वेव, और कार्बन-फाइबर/NIR लैंप का समर्थन करता है, 24 V से 480 V तक, और इसमें स्टैण्डर्ड 2-वायर और 4-वायर इंटरफेस होते हैं ताकि इसे सीधे वेफर ट्रैक बेक प्लेट्स और क्योर टूल्स में लगाया जा सके। जीरो-पार्टिकल कंस्ट्रक्शन और क्लास 1–100 क्लीनरूम संगतता बेक/क्योर साइकिल के दौरान पार्टिकल काउंट को स्थिर रखती है।
यह लिथोग्राफी और फोटोरेजिस्टर प्रोसेसिंग के लिए क्यों उपयुक्त है: आपको बार-बार समान बेक तापमान पर पहुंचना होता है ताकि CDs टारगेट पर बने रहें और स्क्रैप लाइन से बाहर रहे। यह रेगुलेटर लैंप आउटपुट को लॉक कर देता है, जिससे आपका थर्मल बजट स्पेक के भीतर रहता है। इसका परिणाम होता है एक टाइटर प्रोसेस विंडो और कम रिवर्क लॉट्स।
और आप इसे ऊर्जा खपत में भी महसूस करेंगे। कंट्रोलर ओवरशूट से बचता है और सेटपॉइंट को बिना साइकलिंग के बनाए रखता है, जिससे खपत घटती है। हमने ऐसे यूनिट्स देखे हैं जो 5,000+ घंटे चले हैं, जिसमें आउटपुट ड्रॉप 5% से कम रहा—जिससे कम लैंप स्वैप और प्रिवेंटिव मेंटेनेंस की योजना बनाना आसान होता है।
कुछ व्यावहारिक नोट्स। यह यूनिट अंतरराष्ट्रीय सेमीकंडक्टर उपकरण मानकों के लिए सत्यापित समकक्ष के रूप में इंजीनियर किया गया है, लेकिन वायरिंग पथ पारंपरिक मैकेनिकल कॉन्टैक्टर्स जैसा नहीं है। थर्मल मास से मेल खाने और आपके लैंप तथा बेक प्लेट कॉम्बिनेशन के लिए PID ट्यून करने के लिए एक त्वरित कमीशनिंग चरण अपेक्षित है।
अपने काम के लिए एक समर्पित ग्राउंड पथ शील्डेड केबल के साथ चलाएं। यह EMI को संवेदनशील मेट्रोलॉजी क्षेत्रों से बाहर रखता है, जहां नॉइज़ आपके दिन को खराब कर सकता है।