अपनी दीवारों को गर्म न करें: वेफरों को सुखाने का बेहतर तरीका
यदि आपने कभी किसी फैब्रिकेशन प्लांट में वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया को संभाला है, तो आपको इसमें होने वाली परेशानियों का अंदाजा होगा। आप वेफरों को सुखाने की कोशिश कर रहे हैं, लेकिन आपकी ऊर्जा का आधा हिस्सा तो मशीन के चेसिस में ही चला जाता है। यह बहुत ही निराशाजनक है। इसके परिणामस्वरूप मशीन की आंतरिक दीवारें जल जाती हैं, एवं मशीन इतनी गर्म हो जाती है कि उसे छूना भी मुश्किल हो जाता है… ऐसी स्थिति में मशीन की देखभाल करना बहुत ही कठिन हो जाता है।
हमने इस समस्या का समाधान “दिशात्मक इन्फ्रारेड” तकनीक के उपयोग से ढूँढा।
असली चाल तो यह है कि ऊर्जा कहाँ जाती है।
अधिकांश हीटर, बल्बों की तरह ही काम करते हैं… वे ऊर्जा को हर दिशा में फैला देते हैं। सीमित स्थान में, यह बर्बाद हुई ऊर्जा दीवारों में ही चली जाती है। हम छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसे लैंपों में रिफ्लेक्टर होते हैं, जो ऊर्जा को एक ही दिशा में भेजने में मदद करते हैं।
परिणाम? ऊर्जा सीधे लक्ष्य पर ही पहुँचती है, एवं मशीन का बाकी हिस्सा ठंडा ही रहता है।
लेकिन यह एक तरह का समझौता ही है…
सबसे अच्छी बात तो यह है कि इस तरीके से वेफर सुखने में कम समय लगता है। फोटॉन लगभग तुरंत ही वेफर पर पहुँच जाते हैं… यह बहुत ही तेज़ है। और चूँकि हम उच्च ऊर्जा-घनत्व वाले लैंपों का उपयोग करते हैं, इसलिए इन लैंपों को रखने हेतु ज्यादा जगह की आवश्यकता नहीं होती।
लेकिन एक बात ध्यान रखने योग्य है… आपको अपनी कूलिंग प्रणाली पर ध्यान देना होगा। जबकि दीवारें ठंडी रहती हैं, लैंप का आवरण बहुत ही गर्म हो जाता है। यदि आपकी हवा-प्रवाह प्रणाली उचित न हो, तो आपके सॉकेट जल सकते हैं, या थर्मल सेंसर खराब हो सकता है।
ऐसा करने का क्या फायदा?
“गर्म दीवारों” की समस्या से छुटकारा पाने से न केवल बिजली की बचत होती है, बल्कि फर्श भी सुरक्षित रहता है। किसी को भी वेफरों को सुखाने की प्रक्रिया में या नियमित रखरखाव के दौरान झुलसने का डर नहीं होता। इसके अलावा, वेफरों पर एक समान तापमान बना रहता है… जिससे वेफरों में विकृति नहीं होती।
हमने ऐसे लैंपों को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि उन्हें आसानी से पुराने हीटरों की जगह लगाया जा सके। बस उन्हें PID कंट्रोलर से जोड़ दें… और आपका काम पूरा हो जाएगा। इस तरह आप ऊर्जा की बर्बादी से बच सकते हैं, एवं मशीन का तापमान भी ऐसा ही रहेगा कि ऑपरेटरों को किसी भी प्रकार की परेशानी का सामना न करना पड़े।