फैब्रिकेशन फ्लोर पर, सॉफ्ट बेकिंग के दौरान होने वाला थर्मल ड्रिफ्ट, या ड्रायिंग चैंबर में मौजूद “कोल्ड स्पॉट”ों के कारण थर्मल बजट प्रभावित हो जाता है। यह समस्या तब ही शुरू हो जाती है, जब उत्पाद क्लीनरूम से बाहर निकलने से पहले ही। हमने ऐसी स्थितियों को रोकने हेतु क्वार्ट्ज हीटर ट्यूबों का उपयोग किया – ताकि तापमान उसी स्तर पर बना रहे, जिसकी प्रक्रिया में आवश्यकता है, न कि उस स्तर पर, जहाँ हीटर स्थित है।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें:
ये ट्यूबें उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज के माध्यम से शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड ऊर्जा प्रसारित करती हैं; इससे कम थर्मल इनर्शिया के साथ तेज़ तापमान वृद्धि संभव होती है। सक्रिय लंबाई पर तापमान स्थिर रहता है – लगभग ±0.1°C। 150°C से 350°C तक के तापमानों पर भी एक ही प्रकार का प्रदर्शन प्राप्त होता है। क्लास 1–100 वाले वातावरण में, सामग्रियों एवं सीलिंगों का चयन ऐसा किया गया है कि कणों की संख्या कम रहे – कोई गैस निकलने की समस्या न हो, और कोई दूषण न हो। पावर डेंसिटी को ओवन के विभिन्न क्षेत्रों के अनुरूप समायोजित किया गया है; इसके अलावा, हाई-साइकल कनेक्टरों एवं ESD-सुरक्षित हैंडलिंग हेतु भी विशेष व्यवस्था की गई है।
वास्तविक कार्यों में इसका लाभ:
वेफरों को सुखाने एवं साफ करने हेतु समान तापमान आवश्यक है; असमान तापमान से पानी के निशान बन जाते हैं, जिससे दोष पैदा होते हैं। लिथोग्राफी में, फोटोरेसिस्ट को सॉफ्ट/हार्ड बेक करने से ही महत्वपूर्ण आयाम निर्धारित होते हैं – ये ट्यूबें पूरे बैच को निर्धारित मानकों के अंदर ही रखती हैं; इससे अतिरिक्त कार्य एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता नहीं पड़ती। पैकेजिंग हेतु, उत्पादों को सुखाने एवं उनमें द्रव भरने हेतु भी समान तापमान आवश्यक है; ऐसा करने से सब्सट्रेटों में दरारें नहीं पड़तीं। इसका परिणाम है – कम पैरामीटर विचलन, प्रति वेफर कम ऊर्जा खपत, एवं रखरखाव हेतु लंबा समय।
कुछ व्यावहारिक सुझाव:
क्वार्ट्ज, यांत्रिक झटकों या थर्मल तनावों को सहन नहीं कर पाता; इसलिए ओवन फिक्स्चर को ट्यूब को बिना किसी दबाव के सहारा देना होता है, एवं थर्मल एंकरिंग को भी नियंत्रित करना होता है। चैंबर की ज्यामिति के अनुसार सही दूरी सुनिश्चित करें, एवं ओवन प्लेटफॉर्म के अनुरूप वोल्टेज एवं कूलिंग सिस्टम की जाँच भी आवश्यक है। सीलिंगों एवं टर्मिनेशनों की नियमित जाँच भी आवश्यक है – ऐसी छोटी-छोटी जाँचों से उत्पादन की दक्षता बनी रहती है, एवं कणों संबंधी समस्याएँ भी नहीं होतीं।