उच्च भार वाले वेफरों के उपचार प्रक्रम में क्वार्ट्ज ट्यूबों के टूटने को रोकना
उच्च भार वाले फैक्ट्रियों में, लैंपों के खराब होना एक बड़ी समस्या है। इसका मतलब केवल बंद रहने का समय ही नहीं है… अगर क्यूरिंग प्रक्रिया के दौरान क्वार्ट्ज ट्यूब टूट जाती है, तो टुकड़े एवं रासायनिक पदार्थ हर जगह फैल जाते हैं। ऐसी स्थिति में वेफर दूषित हो जाते हैं, और उन्हें साफ करने में बहुत समय लग जाता है। हम ऐसे IR लैंप बनाते हैं जो इतनी ऊँची गर्मी को सह सकें… ताकि आपको अपने क्लीनरूम के विनाश की चिंता न करनी पड़े।
गर्मी एवं ट्यूबों के टूटने के जोखिम से निपटना
उच्च-वाट वाले IR लैंप बहुत गर्म हो जाते हैं। जब इन्हें अधिकतम स्तर तक गर्म किया जाता है, तो यह गर्मी क्वार्ट्ज ट्यूब को फैलने पर मजबूर करती है… जिससे ट्यूब पर बहुत अधिक दबाव पड़ता है।
इस समस्या को हल करने हेतु, हम उच्च-शुद्धता वाला क्वार्ट्ज उपयोग में लाते हैं… ऐसा क्वार्ट्ज सस्ते क्वार्ट्ज की तुलना में बहुत कम फैलता है… इसलिए गर्मी बढ़ने या घटने पर ट्यूब नहीं टूटती।
लेकिन केवल सामग्री ही पर्याप्त नहीं है… हम यह भी सुनिश्चित करते हैं कि लैंप का आंतरिक घटक ठीक से केंद्र में हो… अगर वह थोड़ा भी इधर-उधर हो जाता है, तो ट्यूब की दीवारों पर गर्मी केंद्रित हो जाती है… ऐसी स्थिति में ही ट्यूब टूट जाती है… इसलिए घटक को केंद्र में रखना आवश्यक है।
गंदगी को रोकना
हम केवल यही उम्मीद नहीं करते कि ट्यूबें ठीक ही रहेंगी… हम कुछ सुरक्षा उपाय भी करते हैं, ताकि कुछ भी वेफरों को नुकसान न पहुँचा सके।
सबसे पहले, हम विशेष कोटिंगें लगाते हैं… ऐसी कोटिंगें IR प्रकाश को आगे जाने देती हैं, लेकिन ट्यूब को मजबूत बनाती हैं। फिर, हम ट्यूबों पर टूटने-प्रतिरोधी कवर लगाते हैं… ऐसा करने से अगर ट्यूब टूट भी जाती है, तो उसके टुकड़े कवर के अंदर ही रह जाते हैं… इससे वेफर साफ ही रहते हैं।
त्याग एवं लाभ
उच्च ऊर्जा घनत्व तो अच्छा है… लेकिन इसके लिए बहुत मेहनत आवश्यक है।
जब ऐसे लैंपों को पूरी ताकत से चलाया जाता है, तो पावर सप्लाई एवं कूलिंग सिस्टम पर बहुत दबाव पड़ता है… आपको यह सुनिश्चित करना होगा कि आपकी कूलिंग सिस्टम वेफरों से आने वाली गर्मी को संभाल सके।
अगर वायु प्रवाह कम हो, तो लैंप का आवरण अत्यधिक गर्म हो जाता है… ऐसी स्थिति में कनेक्टर खराब हो जाते हैं, एवं विद्युत संबंधी समस्याएँ हो जाती हैं… यह एक सरल समीकरण है… बेहतर कूलिंग सिस्टम से ही लैंपों का जीवनकाल बढ़ता है।