جلوی گرم شدن کل دستگاه توسط لامپهای تابشی را بگیرید!
اگر انرژی تابشی IR به داخل بدنه دستگاه نفوذ کند، مشکلی در طراحی دستگاه وجود دارد. ساده است.
وقتی از لامپهای تابشی با توان بالا استفاده میکنید، این تابش فقط روی ویفر باقی نمیماند؛ بلکه در سراسر دستگاه پخش میشود. اگر کنترلی بر مسیر این گرما نداشته باشید، دیوارههای داخلی دستگاه همه این گرما را جذب خواهند کرد. در نتیجه، بدنه دستگاه آنقدر گرم میشود که میتواند باعث سوختن افراد شود؛ همچنین فنهای خنککننده نیز برای جلوگیری از این وضعیت، به شدت کار میکنند.
راه حل: انتقال گرما به جای مناسب
راه حل این است که از یک منعکسکننده مناسب برای لامپهای تابشی استفاده کنید؛ منعکسکنندهای که بتواند تابش را به درستی هدایت کند.
لامپهای معمولی، تابش را در تمام جهات پخش میکنند؛ یعنی در ۳۶۰ درجه. با استفاده از منعکسکنندههای پارابولیک یا بیضوی، میتوانیم تابش را به سمت ویفر هدایت کنیم. این کار نه تنها باعث سریعتر شدن فرآیند میشود، بلکه از گرم شدن بدنه دستگاه نیز جلوگیری میکند.
اهمیت مواد
معمولاً از آلومینیوم با پوشش طلا یا آلومینیوم با خلوص بالا برای ساخت منعکسکنندهها استفاده میشود. طلا بهترین گزینه است؛ زیرا نور IR را به خوبی منعکس میکند.
اگر منعکسکننده خودش بیش از حد گرم شود، دچار تغییر شکل یا اکسیداسیون خواهد شد. در این صورت، نقطه تمرکز تابش تغییر خواهد کرد؛ در نتیجه، نقاط سردی روی ویفر ایجاد خواهد شد و همه چیز دوباره از نو شروع خواهد شد.
نکات مهم
حتی کوچکترین انحراف در قرارگیری لامپ، میتواند باعث انحراف پرتو تابش شود؛ این امر میتواند فرآیند تولید را خراب کند. همچنین، حتماً مراقب استانداردهای مربوط به قرارگیری لامپ باشید.
نکات نهایی
یادتان باشد که افزایش تراکم گرما در نزدیکی ویفر، باعث گرم شدن قسمت پشتی لامپ میشود. حتماً از سیستم خنککننده مناسبی برای کنترل این گرما استفاده کنید؛ در غیر این صورت، منبع تغذیه دستگاه آسیب خواهد دید.