در فرآیند پختن فوتورزیست، استفاده از الگوهای دقیق برای پختن ضروری است؛ زیرا این الگوها تعیینکننده میزان تولید محصولات با کیفیت و مقدار محصولات ناکارآمد هستند. تغییر ۲ درجه سانتیگراد در دمای پختن، میتواند باعث تغییر ابعاد مهم قطعات شود و منجر به ایجاد ناخالصیها در قطعات شود. ما لامپهای مادونقرمز خود را دقیقاً برای رفع این مشکلات طراحی کردهایم؛ تا استابیلیتری حرارتی لازم برای ابزارهای مربوط به ویفرها فراهم شود.
از نظر فنی، آنچه اهمیت دارد، همان چیزی است که در خط تولید نیز اهمیت دارد. ما از ایمیترهای مادونقرمز با طول موج کوتاه و متوسط، همراه با قطعات کوارتزی، برای ایجاد گرمایش سریع و موضعی و همچنین افزایش عمر لامپها استفاده کردهایم. هدف، داشتن یکنواختی حرارتی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ همچنین تکرارپذیری عملکرد لامپ در هر بار استفاده، در حد ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میماند. استابیلیتری خروجی لامپ نیز در حد ۲٪ در طول ۵٬۰۰۰ ساعت کاری است. این محصول برای کار ۲۴ ساعته طراحی شده است؛ همچنین دارای اتصالات و سیستمهای مونتاژی مناسب برای ابزارهای مربوط به ویفرها است.
دلیل موفقیت این محصول در فرآیند لیتوگرافی این است که این محصول، دمای پختن فوتورزیست را در محدوده مناسب نگه میدارد. سازگاری این محصول با سیستمهای اتاقهای پاک، به لطف استفاده از موادی با انتشار گاز کم و طراحی مناسب، فراهم شده است؛ بنابراین تعداد ذرات موجود در محیط، تأثیری بر کیفیت قطعات نخواهد داشت. لامپهای مادونقرمز، فوتورزیست را مستقیماً گرم میکنند؛ بنابراین گرمای کمتری صرف ابزارهای دیگر میشود و مصرف انرژی نیز کاهش مییابد. کمتر شدن تعداد تعویض لامپها، منجر به کاهش زمان توقف غیرمنتظره در خط تولید میشود؛ همچنین الگوهای دقیق پختن، کنترل کیفیت قطعات را بهبود میبخشد.
چند نکته عملی:
طیف تابش لامپ را باید با حساسیت فوتورزیست متناسب کرد؛ همچنین صفحه کانونی لامپ باید با صفحه ویفر همتراز باشد. عدم همترازی، منجر به ایجاد اختلافات در دمای ویفر میشود. در هنگام گرم شدن لامپ، مدت کوتاهی زمان لازم است؛ این زمان باید در فرآیند شروع کار لامپ لحاظ شود. همچنین باید ولتاژ و منطق اتصالات لامپ با استانداردهای مربوطه مطابقت داشته باشد؛ در غیر این صورت، عمر لامپ کوتاه شده و مشکلات ایمنی نیز ایجاد خواهد شد.