در خط تولید ۲۰۰ میلیمتری، فرآیند خشک کردن پس از تمیزکاری، صرفاً یک زمان توقف نیست؛ بلکه در این مرحله است که تنش سطحی، مواد حلال باقیمانده و آلودگیهای ریز، تعیین میکنند که آیا لایه بعدی فوتورزیست میتواند با استانداردهای لازم قرار گیرد یا خیر.
چه چیزهایی در واقع اهمیت دارند؟
ماژول خشک کردن ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری ما، بر اساس یک الگوی حرارتی قابل تکرار ساخته شده است. منطقه گرم، دمای یکنواختی در سطح ویفر را حفظ میکند؛ بنابراین دمای خشک کردن، مستقیماً بر رفتار فوتورزیست تأثیر میگذارد. محفظه و مسیر گاز، سازگار با استانداردهای اتاقهای پاکسازی درجات ۱ تا ۱۰۰ هستند؛ همچنین این سیستم به گونهای طراحی شده که پس از راهاندازی، هیچ ذرهای در محیط وجود نداشته باشد. ما این ویژگیها را بر اساس معیارهایی که برای اندازهگیری استفاده میکنیم، توصیف میکنیم: همان دما، همان نرخ تغییر دما، در هر چرخه.
چرا این سیستم اینگونه عمل میکند؟
در عمل، کنترل دقیق دما، باعث کاهش نقصهای ناشی از آب میشود؛ همچنین کنترل دقیقتر دما، باعث کاهش زمان خشک کردن میشود، بدون اینکه کیفیت محصول کاهش یابد. این امر باعث افزایش بهرهوری و حفظ دمای مناسب برای فوتورزیست میشود. نتیجه آن، کاهش نقصها، کاهش مواد بیفایده، و ویفری کاملاً خشک برای مرحله بعدی است – بدون ایجاد خطر آلودگی.
چه چیزهایی را باید در نظر بگیرید؟
این ماژول میتواند در ابزارهای تولید ۲۰۰ میلیمتری موجود استفاده شود؛ اما سیستمهای تخلیه گاز و تأمین گاز، باید با استانداردهای فشار و جریان محیط هماهنگ باشند. برای تنظیم الگوی حرارتی، به زمانی نیاز است؛ پس از آن، عملکرد سیستم پایدار خواهد بود. لطفاً این زمان را از قبل برنامهریزی کنید، تا بتوانید به بهرهوری مطلوب برسید.