Trên sàn sản xuất, các hồ sơ nhiệt độ nung photoresist phụ thuộc vào một yếu tố duy nhất: sự ổn định của cụm đèn. Nếu nhiệt độ soft bake lệch chỉ...

Trên sàn sản xuất, bộ điều khiển nhiệt độ trông ổn định. Đèn báo sáng lên. Băng tải bắt đầu chuyển động. Rồi còi báo động vang lên—vượt quá nhiệt độ,...