Trên sàn sản xuất hoạt động 24/7, sự lệch nhiệt độ trong quá trình bake hay sự tăng đột biến hạt bụi không chỉ thể hiện dưới dạng một đường trên biểu đồ—mà dẫn đến việc loại bỏ nhiều wafer. Trong xử lý wafer, không có chỗ cho sai số nhiệt trong quá trình soft bake và hard bake của photoresist. Chúng tôi thiết kế bộ gia nhiệt hồng ngoại tùy chỉnh để giữ ổn định hồ sơ nhiệt, chu kỳ này qua chu kỳ khác.
Điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi phát triển bộ gia nhiệt NIR để kiểm soát ở cấp độ wafer, đạt độ đồng đều ±0,1°C trên toàn bộ nền chất giúp các kích thước chiều rộng đường nét quan trọng duy trì đúng yêu cầu. Bộ phận quartz-halogen cung cấp năng lượng nhanh, sạch với phổ phát ra hẹp, giảm thiểu độ trễ nhiệt và hiện tượng vượt nhiệt. Hệ thống điều khiển vòng kín giữ độ lặp lại điểm đặt trong phạm vi 0,2%. Thân bộ gia nhiệt tương thích với phòng sạch Class 1–100, và việc không tạo hạt bụi được xác minh tại chỗ.
Bạn không mua lời hứa—bạn mua thời gian hoạt động. Dữ liệu thực tế trên hiện trường cho thấy thiết bị có thể hoạt động trên 5.000 giờ ở chu kỳ làm việc đầy đủ, với độ ổn định công suất dưới 5%.
Tại sao nó hiệu quả trong quá trình lithography
Trên dây chuyền lithography, điều này đồng nghĩa với việc profile photoresist ổn định, giảm số lần làm lại, và kiểm soát chiều rộng đường nét (CD) có thể dự đoán được. Phản ứng nhiệt nhanh rút ngắn thời gian chu trình, tuổi thọ phần tử dài giảm tồn kho linh kiện thay thế và kéo dài khoảng thời gian bảo trì. Tiêu thụ năng lượng giảm do hệ thống điều chỉnh nhiệt độ chính xác—không có thời gian ngừng máy không cần thiết hoặc các chu trình làm mát dư thừa.
Khi ngân sách nhiệt được kiểm soát với độ lặp lại cao, cửa sổ quy trình mở rộng. Và khi ngăn ngừa được sự nhiễm bẩn, tỷ lệ sản phẩm đạt chuẩn tăng lên.
Những điều cần biết từ đầu
Các bộ gia nhiệt này được thiết kế chuyên biệt cho từng ứng dụng, phù hợp với hình học thiết bị, điện áp và giao tiếp đầu nối. Việc tích hợp đòi hỏi phải căn chỉnh chính xác kích thước cơ học và tín hiệu điều khiển ngay từ đầu. Chúng hoạt động hiệu quả nhất với khí sạch, khô hoặc khí nitơ thổi. Khi vận hành trong môi trường ẩm ướt hoặc ăn mòn, tuổi thọ phần tử sẽ giảm.
Cần lên kế hoạch kiểm tra hiệu chuẩn định kỳ. Đây là yếu tố duy trì độ đồng đều ±0,1°C trong nhiều năm vận hành 7×24.