Giữ cho nhiệt độ ổn định (mà không làm hỏng thiết bị) Khi sử dụng các máy sưởi bằng tia hồng ngoại trong quy trình làm sạch hóa chất, bạn đang thực...

Trên dây chuyền sản xuất kích thước 300mm, chỉ cần có một chiếc FOUP chứa wafer bị ảnh hưởng bởi hơi nước, thì toàn bộ lô sản phẩm đó sẽ bị hủy bỏ....