Üretim alanında, yumuşak fırınlamada yarım derecelik bir sapma bile kritik ölçümleri bozabilir ve bir sürü waferin boşa gitmesine neden olabilir. Güvenilir, tekrarlanabilir ve düzenli bir ısı kaynağına ihtiyacınız vardır.
Pano altında ne önemli?
Gelişmiş üretim süreçlerinin gereksinimlerini karşılamak için bu PID kontrollü yarı iletken ısıtıcıyı geliştirdik. Kapalı döngü kontrolü sayesinde plaka ve sıcak plakanın sıcaklıkları wafer boyunca ±0,1°C aralığında tutulur. Böylece fotoresistin pişirilme süreci daha düzenli ve tekrarlanabilir hale gelir. Bu cihaz, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarına uygundur; malzemeler ve yüzey işlemleri de parçacık sayısını azaltmak için özel olarak seçilmiştir. Sıfır parçacık üretimi sadece bir slogan değil, düşük gaz salınımına sahip ısıtıcı elemanlardan kapalı termal arayüzlere kadar her şeyin bir sonucudur.
Neden litografi işlemlerinde etkili?
Litografi ve fotoresist işlemlerinde eşit sıcaklık, eşit çizgi genişliği, daha iyi CD kontrolü ve daha az yeniden işlem anlamına gelir. PID algoritması hızla karar verir; bu sayede bakım veya formül değişikliklerinden sonra büyük sapmalar meydana gelmez. Ayrıca wafer yükü değişse bile ayarlanan sıcaklık korunur. Bu da hem yumuşak hem de sert fırınlamalarda istikrarlı performans sağlar. Ayrıca hassas kontrol sayesinde enerji tasarrufu da sağlanır.
Birkaç pratik bilgi
Bu cihaz mevcut ekipmanlara uyum sağlar; ancak eşitliği artırmak için termal kütle kasıtlı olarak yüksek tutulmuştur. Düzenli çalışma durumuna gelmek için biraz daha uzun bir ısıtma süresi gerekebilir. Ayrıca stabil bir güç kaynağına ihtiyaç vardır; hat gürültüsü sensör devresine etki ederek sıcaklığın ±0,1°C aralığının dışına çıkmasına neden olabilir. Kontrol cihazının ayarlarını işleminizin gereksinimlerine göre ayarlayın; böylece ısıtıcı, sürecinizin ihtiyaç duyduğu tekrarlanabilirliği sağlayacaktır.