หลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตเรซิสต์เพื่อให้เกิดความสม่ำเท่ากัน

ในกระบวนการลิโธกราฟี ขั้นตอนการอบไม่ใช่เพียงการหยุดพักเท่านั้น แต่เป็นส่วนสำคัญในการควบคุมคุณภาพด้วย หากการอบไม่สม่ำเสมอ...