บนชั้นการผลิตที่ทำงาน 24/7 การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิในขั้นตอนอบหรือการเพิ่มขึ้นของฝุ่นละอองไม่ได้แสดงผลแค่ในรูปแบบกราฟเท่านั้น แต่ยังทำให้เวเฟอร์จำนวนมากเสียหาย ในกระบวนการผลิตเวเฟอร์ การควบคุมอุณหภูมิอย่างเคร่งครัดในขั้นตอน photoresist soft bake และ hard bake เป็นสิ่งที่ต้องไม่มีความคลาดเคลื่อน เราออกแบบฮีตเตอร์อินฟราเรดแบบกำหนดเองเพื่อรักษาโปรไฟล์ความร้อนให้นิ่งในทุก ๆ รอบการทำงาน
สิ่งที่สำคัญในเชิงเทคนิค
เราวิศวกรรมฮีตเตอร์ NIR สำหรับการควบคุมระดับเวเฟอร์ โดยสามารถรักษาความสม่ำเสมอ ±0.1°C ทั่วทั้งพื้นผิวเวเฟอร์ เพื่อให้ความกว้างของเส้นที่สำคัญคงที่ตามที่ต้องการ ตัวกำเนิดความร้อนควอตซ์-ฮาโลเจนให้พลังงานที่รวดเร็วและสะอาดโดยมีสเปกตรัมที่จำกัด ซึ่งช่วยลดความล่าช้าด้านความร้อนและการเกินเป้าหมาย ระบบควบคุมแบบปิดวงจรทำให้ความสามารถในการทำซ้ำของจุดตั้งค่าอยู่ภายใน 0.2% ตัวฮีตเตอร์ออกแบบให้เหมาะสมกับพื้นที่ทำงาน Class 1–100 และผ่านการตรวจสอบว่าปริมาณฝุ่นละอองเป็นศูนย์ในสถานที่ติดตั้ง
คุณไม่ได้ซื้อแค่คำสัญญา แต่คุณซื้อเวลาทำงานจริง ข้อมูลจากภาคสนามแสดงให้เห็นว่าหน่วยนี้สามารถทำงานได้เกิน 5,000 ชั่วโมงเต็มรอบ พร้อมความเสถียรของพลังงานภายใต้ 5%
ทำไมฮีตเตอร์นี้จึงเหมาะกับงานลิโธกราฟี
ในสายการผลิตลิโธกราฟี ฮีตเตอร์นี้หมายถึงโปรไฟล์ photoresist ที่คงที่ ลดการทำงานซ้ำ และควบคุมความกว้างเส้นได้แม่นยำ การตอบสนองความร้อนที่รวดเร็วช่วยลดเวลารอบการผลิต และอายุการใช้งานของตัวกำเนิดที่ยาวนานช่วยลดสต็อกอะไหล่และขยายช่วงเวลาการบำรุงรักษา การใช้พลังงานลดลงเนื่องจากระบบควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ ไม่มีการทำงานเปล่าหรือลดความร้อนที่ไม่จำเป็น
เมื่อควบคุมงบประมาณความร้อนได้อย่างแม่นยำและทำซ้ำได้ หน้าต่างของกระบวนการจะขยายออก และเมื่อไม่มีการปนเปื้อน ผลผลิตจะเพิ่มขึ้น
สิ่งที่ควรรู้ล่วงหน้า
ฮีตเตอร์เหล่านี้ออกแบบเฉพาะสำหรับแอปพลิเคชัน โดยปรับให้เข้ากับรูปทรงเครื่องมือ แรงดันไฟฟ้า และอินเทอร์เฟซของขั้วต่อ การติดตั้งจะต้องวางแผนการจัดตำแหน่งของขนาดทางกลและสัญญาณควบคุมตั้งแต่เนิ่น ๆ ฮีตเตอร์ทำงานได้ดีที่สุดกับอากาศแห้งสะอาดหรือไนโตรเจนพิวร์ หากใช้งานในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นสูงหรือกัดกร่อนจะทำให้อายุการใช้งานของตัวกำเนิดสั้นลง
วางแผนการตรวจสอบการสอบเทียบอย่างสม่ำเสมอ นี่เป็นสิ่งที่ช่วยรักษาความสม่ำเสมอ ±0.1°C ไว้ได้ตลอดระยะเวลาการทำงาน 7×24 ชั่วโมงหลายปี