На производственной площадке даже незначительное повышение температуры на 1,2°C может привести к тому, что профиль свойств фоторезиста, который должен соответствовать требуемым параметрам, станет бесполезным. Мы разработали инфракрасные обогреватели для чистых комнат, чтобы устранить такую нестабильность. Они предназначены для использования в процессе производства полупроводников, где температурный режим строго контролируется, а количество частиц в воздухе должно оставаться на уровне однозначных значений.
Что действительно важно
Мы используем инфракрасные излучатели с быстрой реакцией и точным спектральным контролем. Это позволяет поддерживать однородность температуры на поверхности пластины в диапазоне ±0,1°C. Повторяемость температуры остается на том же уровне при каждом цикле обработки, что обеспечивает стабильность критических размеров в процессе литографии. Дизайн устройства предусматривает использование в чистых комнатах: запечатанные элементы излучения и материалы с низким уровнем выбросов частиц предотвращают увеличение количества частиц в воздухе, даже в условиях классов чистоты 1–100. Таким образом, обеспечивается непрерывная работа устройства без простоев, а энергопотребление меньше, чем у традиционных обогревателей, поскольку не нужно нагревать большое количество материала.
Обработка фоторезиста — это процесс, требующий точного контроля температуры. С помощью этого обогревателя температура быстро повышается, затем поддерживается на необходимом уровне во время процедуры обработки, а после этого снова понижается под контролем. Это обеспечивает стабильное удаление растворителя, постоянную толщину пленки и предсказуемый контроль её размеров.
Кроме того, не нужно выбирать между тепловыми характеристиками и контролем загрязнений. Возможность использования устройства в чистых комнатах уже включена в его конструкцию, что позволяет расширить возможности процесса, снизить количество ошибок при обработке и повысить выход готовой продукции — без изменения химических составов или времени выполнения процедур.
Несколько практических советов перед заказом устройства: при монтаже необходимо учитывать геометрию камеры обработки и правильную расстановку излучателей относительно пути движения пластины. Если происходит модернизация оборудования, может потребоваться небольшая перенастройка. Устройство будет функционировать в полном объеме только при соблюдении всех правил работы с потоком воздуха, вентиляцией и чистотой отражателей.
Необходимо предусмотреть отдельную схему питания и заранее проверить допустимый диапазон напряжения. Нестабильное напряжение может повлиять на стабильность рабочих параметров устройства и на однородность температуры. Мы предоставляем интерфейс для управления устройством, что облегчает его интеграцию и повторяемость использования.