ברצפת הייצור, פרופילי אפיית הפוטורזיסט מסתכמים בדבר אחד: יציבות מערך הנורות. אם אפיית ה-soft bake תסטה אפילו ב-0.5°C, בקרת ה-CD תיפגע. אם אפיית...

על רצפת המפעל, בקר הטמפרטורה נראה יציב. הנורות נדלקות. הרצועה מתחילה לזוז. ואז מצלצל האזעקה—חריגה בטמפרטורה, ניתוק מגבלת זרם, מחבר שחם מדי....