מנורת אפייה לחומרי פוטורזיסט אחידים

בתהליך הליתוגרפיה, שלב החימום אינו רק הפסקה בתהליך – הוא למעשה אמצעי לשליטה בתהליך. אם החימום אינו אחיד, זה יגרום לשינויים בעובי השבב, לגלים סטטיים...