על גבי הוואפר, פרופילי החימום של הפוטורזיסט אינם אופציונליים – הם הגורם שקובע האם ניתן יהיה לייצר מוצרים באיכות גבוהה או שמא ייווצרו חומרים בלתי תקינים. שינוי של 2°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוואפר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית בטמפרטורה. ייצרנו את תשתיות התאורה באמצעות אור אינפרא-אדום כדי לאפשר שליטה טובה בטמפרטורה, בדיוק באזורים בהם הוואפר זקוק לכך ביותר.
מבחינה טכנית, מה שחשוב הוא אותו דבר כמו בייצור התעשייתי. אנו משתמשים בגלאי אור אינפרא-אדום – בעלי גלים קצרים ובינוניים – יחד עם רכיבי קוורץ, כדי לאפשר חימום מהיר וממוקד, וכן חיי שירות ארוכים. השליטה בטמפרטורה על גבי הוואפר צריכה להיות בטווח של ±0.1°C, והשגרתיות של החימום צריכה להיות בטווח של ±0.5°C. יציבות הפלט צריכה להיות פחות מ-2% לאורך 5,000 שעות של פעולה. המוצר נועד לפעול 24/7, עם אפשרויות חיבור שתואמות את המאפיינים של כלי העבודה השונים.
זו הסיבה שהמוצר עובד טוב בתהליך הליתוגרפיה. התשתיות מאפשרות שליטה בטמפרטורת החימום, כך שהיא לא תעלה על הערך הרצוי. התאמה לתנאי חדר נקי מסוג 1–100 נובעת משימוש בחומרים בעלי פליטת גזים נמוכה, ומעיצוב שמאפשר שליטה בכמות החלקיקים. אור אינפרא-אדום מחמם את הפוטורזיסט ישירות, כך שיוצרים פחות חום מיותר, וכך ניתן לחסוך באנרגיה. פחות שינויים בנורות פירושם פחות זמן עצירה לא צפוי, וכן שליטה טובה יותר באיכות המוצר.
כמה הערות פרקטיות: יש להתאים את ספקטרום האור לרגישות הפוטורזיסט, וליישר את מישור הפוקוס של הנורה עם מישור הוואפר. חוסר התאמה עלול לגרום לחוסר אחידות בחימום של הוואפר. יש תקופת חימום קצרה בתחילת הפעולה – יש להביא זאת בחשבון בתהליך העבודה. יש לוודא שהמתח והלוגיקה של הכלי תואמים את המאפיינים של התשתיות; אי-התאמה עלולה לקצר את חיי הנורה וליצור בעיות בטיחות.