בתהליך הליתוגרפיה, שלב החימום אינו רק הפסקה בתהליך – הוא למעשה אמצעי לשליטה בתהליך. אם החימום אינו אחיד, זה יגרום לשינויים בעובי השבב, לגלים סטטיים...

בקומת הליתוגרפיה, אפיית soft bake ו-hard bake אינן רק שלבים—הן “לחיצות יד” תרמיות. סטייה של חצי מעלה משנעת את ה-CD bias, ונקודה חמה יכולה...