בחדרי העיבוד האיכותיים, שינוי קל בטמפרטורה של 1.2°C יכול להרוס את הפרופיל של החומר הפוטורזיסטיבי, שאמור לעמוד בסטנדרטים הנדרשים. לכן, ייצרנו גרמי חימום באינפרא-אדום שנועדו להפחית את השינויים האלו. הם מיועדים לתנאי הייצור של שבבים, שבהם הטמפרטורה חייבת להיות קבועה, ומספר החלקיקים חייב להישאר בטווח קטן מאוד.
מה באמת חשוב? אנו משתמשים בגרמי חימום באינפרא-אדום בעלי תגובה מהירה ושליטה דקה בספ�קטרום האור, כך שניתן לשמור על אחידות הטמפרטורה על פני כל שטח החימום בטווח של ±0.1°C. האחידות של הטמפרטורה נשמרת בכל סיבוב, מה שמאפשר שליטה מדויקת בממדים החיוניים של השבב במהלך תהליך הליתוגרפיה. העיצוב של הגרמים מתאים לחדרי עיבוד איכותיים – הארכיטקטורה שלהם מוגנת, והחומרים שמהם הם עשויים מונעים עלייה במספר החלקיקים, אפילו בסביבות של רמת ניקיון 1–100. כך ניתן לקבל אמינות 24/7, ללא זמני עצירה בלתי צפויים. בנוסף, צריכת האנרגיה של הגרמים נמוכה יותר מזו של גרמי חימום רגילים, מכיוון שאיננו צריכים לחמם כמות גדולה של חומר.
עיבוד החומר הפוטורזיסטיבי אינו קשור לחימום החומר – זהו תהליך תרמי מדויק. באמצעות גרמי החימום האלו, ניתן להעלות את הטמפרטורה במהירות, לשמור עליה במהלך תהליך החימום, ולאחר מכן להוריד אותה בצורה מבוקרת. התוצאה היא הסרה אחידה של החומרים המסיסים, עובי קבוע של השכבה, ושליטה מדויקת בממדים של השבב.
אין צורך לבחור בין ביצועים תרמיים לבין שליטה בזיהום. התאמה לחדרי עיבוד איכותיים כבר חלק מהעיצוב של הגרמים, כך שניתן לשפר את איכות התהליך, להפחית את הצורך בעיבוד חוזר, ולשפר את התפוקה – מבלי לשנות את התהליכים הכימיים או את הזמנים הנדרשים לביצוע התהליך.
כמה הערות חשובות לפני הרכישה: ההתקנה דורשת התאמה של גאומטריית חדר החימום לגרמי החימום, וכן בדיקה שהגרמים ממוקמים במקום הנכון ליד השבב. אם מדובר בשדרוג, ייתכן שיהיה צורך בשינויים קלים בהסדרת הגרמים. הגרמים יפעלו כראוי רק אם זרימת האוויר, הניקיון של החדר, והמראות שמשמשים לחימום יהיו בהתאם להנחיות.
יש להכין מסלול חשמלי נפרד, ולבדוק מראש את רמת המתח במקום. ירידה במתח עלולה לפגוע ביציבות הטמפרטורה ולפגוע באחידותה. אנו מספקים את הממשקים הדרושים לשליטה בגרמי החימום, כך שהשילוב שלהם יהיה קל ואמין.