Évitez que les lampes ne détériorent vos wafer
Dans une station de rinçage pour semi-conducteurs, la panne d’une lampe n’est pas simplement un problème mineur ou une perte de temps de fonctionnement. C’est un véritable cauchemar. Lorsqu’un tube en quartz se brise sous une charge importante, des éclats de verre et des filaments en tungstène tombent directement sur les wafer. C’est ainsi que l’on peut détruire toute une série de produits. Nous avons conçu nos lampes infrarouges étanches spécialement pour éviter que cela ne se produise.
Pourquoi ces lampes se brisent-elles ?
Les conditions dans les stations de rinçage sont extrêmement difficiles. On trouve des sources de chaleur très puissantes à quelques centimètres seulement du jet d’eau. Les fluctuations de température sont également importantes. Si une seule goutte d’eau touche un tube en quartz extrêmement chaud, celui-ci peut se briser instantanément. Pour éviter cela, nous avons enveloppé l’élément chauffant dans une coque étanche munie de capots hermétiques. Cela empêche l’eau et la chaleur d’entrer en contact avec l’élément chauffant.
Gardez les débris à l’intérieur
Nous n’avons pas simplement scellé les extrémités du tube. Nous avons aussi veillé à ce que tous les débris restent à l’intérieur. Ainsi, vous n’aurez pas à vous soucier des petits fragments de verre qui pourraient se retrouver dans vos wafer. De plus, comme nous utilisons des matériaux hautement purs pour cette coque, la chaleur peut quand même passer à travers. Vous obtenez ainsi la densité nécessaire sans affecter la chimie du processus de rinçage.
Les compromis inévitables
Rien n’est parfait. L’ajout de cette couche protectrice provoque en effet un léger retard thermique. Il faudra donc un peu plus de temps pour que la lampe se réchauffe par rapport à un tube sans protection. Il suffit de régler correctement le PID afin que les températures de surface restent au niveau souhaité. Un autre point important : veillez bien à vérifier les joints every 500 heures. Une fois qu’un joint commence à se détériorer, l’humidité peut s’infiltrer, ce qui revient à recommencer tout depuis le début, avec le risque de choc thermique. De plus, utilisez des fils électriques résistants à la chaleur pour que vos connecteurs ne fondent pas lorsque les températures augmentent.