Pourquoi nous abandonnons l’air chaud au profit des rayons infrarouges dans le traitement des semi-conducteurs
Pensez à la façon dont fonctionne un four à convection : on chauffe l’air, qui lui-même réchauffe les aliments. Il y a donc un délai entre le moment où l’air est chauffé et celui où il réchauffe les aliments. Dans le monde du traitement des semi-conducteurs, ce délai est un vrai problème : c’est du temps perdu, que l’on ne peut se permettre de gaspiller.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes infrarouges à ultra-haute pureté. En fait, nous éliminons complètement l’intermédiaire qu’est l’air.
La différence de vitesse est incroyable. Comme les lampes infrarouges utilisent des radiations électromagnétiques, la chaleur atteint la puce dès que vous actionnez l’interrupteur. C’est presque immédiat. Alors que le système à air chaud met plusieurs minutes pour stabiliser la température dans une zone donnée, une lampe UHP atteint la température souhaitée en quelques secondes seulement.
C’est rapide. Vraiment rapide. Et cela change tout pour votre processus de production. Vous pouvez traiter davantage de puces à chaque équipe de travail.
Maintenant, parlons de l’aspect « propre » de la salle blanche. Les émissions de gaz sont un véritable cauchemar. Les lampes standard tendent à libérer des impuretés, mais nos lampes UHP utilisent du quartz synthétique de haute qualité ainsi que des joints spécialisés. Aucune particule n’est libérée. Pas de surprises. Nous maintenons une densité de puissance élevée afin que l’ensemble du système ne occupe pas toute la surface disponible.
Un conseil : surveillez bien votre alimentation électrique. Ces lampes à haute densité consomment beaucoup de courant. Si vos transformateurs ne sont pas conçus pour gérer cette charge, vous aurez des baisses de tension. Et une fois que la tension baisse, l’uniformité de la température disparaît.
Ce n’est pas une solution simple à mettre en œuvre. Passer d’un système à air forcé à un système à rayons infrarouges nécessite une planification minutieuse. Les rayons infrarouges étant directionnels, il faut être très précis dans la définition des zones de chauffe. Même quelques millimètres d’écart peuvent entraîner des zones froides et des gradients de température sur la puce. C’est un véritable équilibre à trouver.
Mon conseil ? Ne changez rien d’un coup. Commencez par les zones où le temps de traitement est le plus critique. Obtenez un profil thermique parfait, puis passez aux autres zones.
Le vrai avantage ici, ce n’est pas seulement la puissance, mais aussi l’efficacité. Vous passez beaucoup moins de temps à faire fonctionner la machine pour obtenir le même résultat.