Deje de calentar las paredes: una forma mejor de secar las obleas
Si alguna vez ha tenido que manejar ciclos de secado en una fábrica de semiconductores, sabrá cuán complicado es eso. Se trata de hacer que la oblea se seque, pero la mitad de la energía se desperdicia en el chasis de la máquina. Es frustrante. Al final, las paredes interiores se recalientan enormemente, y la máquina queda demasiado caliente para tocarla, lo cual representa un verdadero problema para quienes deben mantenerla en buen estado.
Encontramos una solución: utilizamos calefacción por infrarrojos direccional.
El truco está en dónde va el calor.
La mayoría de los calentadores funcionan como bombillas: emiten energía en todas direcciones. En un espacio reducido como una fábrica, ese calor desperdiciado no tiene adónde ir, sino directo a las paredes. Nosotros utilizamos lámparas de infrarrojos de onda corta, junto con reflectores que funcionan como focos. En lugar de un calor disperso, conseguimos concentrarlo en un haz preciso.
El resultado: el calor afecta solo al objetivo deseado, mientras que el resto del recinto permanece frío.
Pero hay un inconveniente.
Lo bueno es la velocidad. No hay necesidad de esperar a que toda la cámara se recaliente. Los fotones impactan en el sustrato casi de inmediato. Es rápido. Muy rápido. Además, como utilizamos alta densidad de potencia, los componentes no ocupan mucho espacio.
Pero hay algo más: hay que prestar atención al sistema de enfriamiento. Mientras las paredes permanecen frías, la carcasa de la lámpara se recalienta enormemente. Si el flujo de aire no está ajustado adecuadamente, podrían dañarse los conectores o se activaría un sensor térmico.
¿Por qué molestarse?
Eliminar ese efecto de “paredes calientes” no solo permite ahorrar en la factura de electricidad, sino que también hace que el lugar sea más seguro. A nadie le gusta la idea de quemarse durante una carga rápida de obleas o durante una inspección de mantenimiento. Además, se obtiene un perfil térmico mucho más uniforme en la oblea, lo que reduce significativamente la deformación de la misma.
Hemos diseñado estos dispositivos para que sean reemplazos sencillos. Basta con sustituir los calentadores habituales por estos, conectarlos a un controlador PID para mantener la temperatura controlada, y listo. De esta manera, se evita desperdiciar energía en las paredes y se mantiene la temperatura de los equipos en un nivel seguro, sin que los operarios tengan que buscar el botiquín de primeros auxilios.