Dejen de desperdiciar energía en las fábricas de wafers
Seamos honestos: desperdiciar energía en las fábricas de wafers no es solo un problema económico. También representa un riesgo de contaminación.
Cuando se utilizan elementos calefactores de alta potencia, una gran parte de esa energía infrarroja simplemente desaparece. Esa energía se dispersa y se pierde en el vacío. Para solucionar esto, utilizamos reflectores revestidos de oro. Al recubrir las paredes de la cámara con películas de oro de alta pureza, logramos que todo ese calor vuelva a impactar sobre el wafer.
¿Por qué el oro?
Porque es excelente para reflejar la energía infrarroja. El aluminio o el acero pulido no son efectivos; demasiada energía se escapa. En cambio, el oro puede reflejar hasta el 98% del calor. Eso significa que cada vatio generado por las lámparas llega realmente al silicio. De esta manera, se obtiene un perfil térmico más uniforme y los tiempos de calentamiento son mucho más rápidos.
Pero hay un problema: cuando se concentra tanta energía en un espacio tan pequeño, se crea una zona de alto calor. Es necesario asegurarse de que los sistemas de enfriamiento puedan manejar ese calor adicional. Si el sistema de enfriamiento no funciona bien, las piezas pueden dañarse. Y nadie quiere lidiar con eso.
Integración en la línea de producción
Hemos diseñado estos reflectores para que puedan reemplazar fácilmente los existentes. No será necesario desmontar todo el sistema ni rediseñar sus conexiones eléctricas. Solo hay que concentrarse en el camino óptico por donde pasa la energía.
Un consejo: estos revestimientos pueden verse afectados por los vapores químicos. Es importante mantener un programa de limpieza riguroso. Si se acumulan óxidos o residuos, la capacidad de reflexión disminuye. Entonces, las lámparas tienen que trabajar más duro y a temperaturas más altas para mantener el funcionamiento adecuado.
Es solo un cambio de enfoque. En lugar de simplemente aumentar la tensión y esperar lo mejor, se dirige la energía hacia donde realmente debe ir. De esta manera, el sistema de alimentación eléctrica funciona mejor y la temperatura se mantiene estable en todo el wafer.