Hören Sie auf, die Wände zu erhitzen – es gibt eine bessere Möglichkeit, die Wafer zu trocknen.
Wenn Sie bereits Erfahrung mit dem Trocknungsprozess in einer Fertigungshalle haben, wissen Sie, wie schwierig das ist. Man versucht zwar, die Wafer trockenzubekommen, doch die Hälfte der Energie geht einfach in das Gehäuse der Maschine. Das ist frustrierend. Am Ende haben man verdorbene Innenwände und eine Maschine, die viel zu heiß zum Anfassen ist – was für die Personen, die sie warten müssen, ein Albtraum ist.
Wir haben eine Lösung gefunden: Wir nutzen Richtungsheizung mittels Infrarotstrahlung.
Der Schlüssel liegt darin, wohin die Wärme gelangt.
Die meisten Heizgeräte funktionieren wie Glühbirnen – sie strahlen Energie in alle Richtungen ab. In einer beengten Fertigungshalle hat diese verschwendete Wärme keinen anderen Weg, als in die Wände zu fließen. Wir verwenden Kurzwellen-Infrarotlampen mit Reflektoren, die wie Taschenlampen fungieren. Anstelle einer breiten Wärmeausstrahlung konzentrieren wir die Wärme auf einen schmalen Strahl.
Das Ergebnis? Die Wärme trifft direkt auf das Zielobjekt, während der Rest des Gehäuses kühl bleibt.
Es handelt sich dabei jedoch um einen Kompromiss.
Der Vorteil ist die Geschwindigkeit: Man muss nicht warten, bis die gesamte Kammer vollständig aufgewärmt ist. Die Photonen treffen fast sofort auf das Substrat. Es geht wirklich schnell. Und da wir eine hohe Leistungsdichte nutzen, nimmt das Gerät nicht viel Platz ein.
Aber Achtung: Man muss darauf achten, dass die Kühlung funktioniert. Während die Wände kühl bleiben, wird die Lampe selbst extrem heiß. Wenn die Luftzufuhr nicht richtig eingestellt ist, können die Anschlüsse beschädigt werden oder thermische Sensoren ausfallen.
Warum sollte man sich darüber Gedanken machen?
Durch das Vermeiden dieses „heißen Wandeffekts“ spart man nicht nur Energie, sondern macht den Arbeitsplatz auch sicherer. Niemand möchte riskieren, sich bei der schnellen Beladung der Wafer oder bei Routineüberprüfungen zu verbrennen. Zudem entsteht ein viel gleichmäßigeres Temperaturprofil auf den Wafern – was wiederum dazu führt, dass weniger Verformungen auftreten.
Wir haben diese Geräte so konzipiert, dass sie einfach als Ersatz für herkömmliche Heizgeräte eingesetzt werden können. Man muss nur die alten Heizgeräte ersetzen, sie mit einem PID-Controller verbinden, um die Temperatur genau zu kontrollieren – und schon ist alles in Ordnung. So kann man keine Energie mehr verschwenden, und die Oberfläche der Geräte bleibt bei einer Temperatur, die keine Gefahr für die Mitarbeiter darstellt.