Auf dem Fertigungsbereich kommen die Backprofile für Fotoresist auf eine Sache an: die Stabilität des Lampenarrays. Wenn Ihre Vorwärmung um auch nur 0,5 °C abweicht, gerät die CD-Kontrolle ins Wanken. Lassen Sie die Hauptbacktemperatur um 1,0 °C schwanken, und Sie werden Ablagerungen und Rückstände sehen. Wir haben einen SCR-Leistungsregler für die Lampe entwickelt, damit Sie diese Fenster – stabil, Schicht für Schicht – halten können.
Was technisch zählt
Der Regler verwendet eine Topologie mit siliziumgesteuerten Gleichrichtern und geschlossener Strommessung. Sie erhalten eine Leistungsauflösung von 0,1 % und eine gleichmäßige Temperaturstabilität von ±0,1 °C über die Lampenhülle. Er unterstützt Halogen-, Quarz-, Kurzwellens-, Mittelwellen- und Kohlefaser/NIR-Lampen von 24 V bis 480 V und ist mit standardmäßigen 2-Draht- und 4-Draht-Schnittstellen ausgestattet, sodass Sie ihn direkt in Wafer-Track-Backplatten und Aushärtungswerkzeuge einsetzen können. Eine nullpartikelige Konstruktion und die Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 halten die Partikelzahlen während der Back-/Aushärtungszyklen konstant.
Hier ist der Grund, warum es für Lithografie und Fotoresistverarbeitung geeignet ist: Sie müssen wiederholbare Backtemperaturen erreichen, um die CDs im Zielbereich zu halten und Ausschuss zu vermeiden. Dieser Regler fixiert die Lampenleistung, sodass Ihr thermisches Budget innerhalb der Spezifikationen bleibt. Der Vorteil ist ein engerer Prozessbereich und weniger Nacharbeitsposten.
Und Sie werden es auch beim Energieverbrauch bemerken. Der Regler vermeidet Überschwinger und hält den Sollwert ohne Zyklierung, sodass der Verbrauch sinkt. Wir haben gesehen, dass Einheiten über 5.000 Stunden mit weniger als 5 % Leistungsabfall laufen – weniger Lampenwechsel und Wartungen, die Sie einplanen können.
Ein paar praktische Hinweise. Das Gerät ist als verifiziertes Äquivalent zu internationalen Standards für Halbleitergeräte konstruiert, aber der Verdrahtungsweg ist nicht derselbe wie bei älteren mechanischen Kontaktoren. Erwarten Sie einen schnellen Inbetriebnahmeprozess, um die thermische Masse anzupassen und PID für Ihre Lampen- und Backplattenkombination zu optimieren.
Tun Sie sich selbst einen Gefallen und führen Sie einen dedizierten Erdungsweg mit geschirmtem Kabel. Dies hält EMI aus empfindlichen Messtechnikzonen fern, in denen Störungen Ihren Arbeitsablauf beeinträchtigen können.