标签为“Tool”的页面如下 用于晶圆加工设备的红外灯插座 在晶圆加工过程中,光刻胶的烘烤参数至关重要——它直接决定了产品能否合格。如果在软烘或硬烘过程中温度偏差达到2℃,那么晶圆的尺寸就会发生变化,从而导致缺陷产生。我们设计的红外灯座正是为了解决这个问题:确保在晶圆加工过程中能够保持稳定的温度。 从技术层面来看,关键因素与生产线上的要求是一致的。我们将短... Read more...
用于晶圆加工设备的红外灯插座 在晶圆加工过程中,光刻胶的烘烤参数至关重要——它直接决定了产品能否合格。如果在软烘或硬烘过程中温度偏差达到2℃,那么晶圆的尺寸就会发生变化,从而导致缺陷产生。我们设计的红外灯座正是为了解决这个问题:确保在晶圆加工过程中能够保持稳定的温度。 从技术层面来看,关键因素与生产线上的要求是一致的。我们将短... Read more...