
别再浪费时间等待空气变热了
如果你仍然使用热风循环方式来处理半导体,那实际上就是在为“时间浪费”付出代价。想想看:你先让空气加热,然后再希望这些热空气能加热晶圆。这个过程实在很缓慢。
红外线加热则省去了这一中间环节——它可以直接将能量传递到工件上,无需等待。
为什么这很重要
使用热风时,你必须克服热惯性带来的延迟。你需要等待空气达到一定温度后,工件才能开始受热。这个过程极其缓慢。
而红外线灯则不同,它们几乎可以立刻达到目标温度。这样一来,加热时间可以从几分钟缩短到几秒。如此一来,整个生产线的工作效率就会大大提升。你不再需要那么多设备来达到同样的效果——用更少的空间就能完成更多工作。
“避免烧毁晶圆”的问题
虽然速度很重要,但如果温度控制不当,就会导致一批晶圆被毁掉。这是没人愿意发生的噩梦。
为了控制温度,我们会将红外线加热器与高精度热电偶相连。这样就能形成有效的反馈机制,让加热器知道何时该减少热量输出。
不过,这里有个问题:传感器的工作速度必须与加热器一样快。如果使用的传感器响应速度较慢,那么即使温度已经达到上限,加热器仍会继续向工件输送热量。因此,你需要选择响应速度快的传感器。
现实情况
红外线并非万能的解决方案,它也有其局限性。
与能够覆盖所有区域的热风不同,红外线需要直线视野才能发挥作用。如果灯光无法“看到”工件,那它就无法加热工件。因此,你必须仔细安排灯光的位置,以避免出现冷点。
此外,红外线会产生大量集中热量。如果不妥善通风,机器内部的温度就会上升。一旦发生这种情况,传感器的数据就会变得不可靠。