遏制热量流失：更高效的工厂运营方式
如果我们真的想实现碳中和的目标，那就必须停止为那些不需要加热的部件提供热量。
我们大多数人习惯于使用对流式加热方式——也就是让整个空间都变热，希望这样就能让晶圆也受热。但这种方式其实很浪费资源。因此，我们现在倾向于使用红外线灯来进行加热处理。这样一来，就不必让整个腔室以及所有的墙壁都变热，而是将能量直接传递到需要加热的地方。
关键在于如何快速升温。
传统加热方式需要很长时间才能达到所需温度，效率极低。而使用短波红外线的话，能量几乎可以立即传递到晶圆表面。这样一来，等待时间可以从几分钟缩短到几秒。在大量生产的情况下，这些节省下来的时间加起来就能大幅减少电网消耗的电量。
为了达到理想的温度，我们在高纯度石英外壳中使用了填充了卤素元素的灯丝。这样，我们就可以在极小的空间内释放出大量的能量。
不过，有个问题：由于热量如此集中，所以必须妥善处理冷却问题。必须确保冷却系统能够应对灯具周围产生的额外热量。否则，就有可能导致部件损坏。
最棒的是，你无需彻底更换现有设备。
我们设计的这些产品可以直接替代旧的加热元件。我们使用了标准的连接器，因此无需重新布线。这样，你就可以在不中断生产的情况下，换成更环保的加热设备。
归根结底，这其实就是物理学原理的应用——将热量集中在需要加热的晶圆上，避免能源的浪费。如此一来，就能减少浪费、降低能耗，同时简化生产流程。