停止给墙壁加热：一种更有效的晶圆干燥方法
如果您曾负责过工厂中的晶圆干燥工作，那么您一定明白其中的难题。虽然我们试图让晶圆变干，但有一半的能量却浪费在了机器的机壳上。这实在令人沮丧。最终，机器的内壁会被烧坏，而机器本身也会变得极其烫手，这对于需要维护它的人来说简直就是一场噩梦。
我们找到了一种解决之道，那就是使用定向红外加热技术。
关键在于热量的释放方向。
大多数加热器就像灯泡一样，会将能量向各个方向散发。在空间有限的工厂里，这些被浪费的热量只能散布到墙壁上。而我们使用的则是带有反射器的短波红外灯，它们就像手电筒一样，能够将热量集中起来，而不是随机散射。这样一来，热量就能直接作用于目标物体，而其他部分则保持低温状态。
不过，这也存在一定的trade-off。
优点在于速度很快。无需等待整个腔室都被加热。光子几乎可以立即作用于晶圆表面。而且由于我们使用了高功率密度，所以设备所占空间也很小。
但需要注意的是，必须好好控制冷却系统。虽然墙壁保持低温，但灯罩本身会变得非常热。如果风速不符合要求，就有可能导致电路损坏或热传感器失效。
为什么要这么做呢？
消除“热墙”效应的好处不仅仅是节省能源成本，还能确保操作人员的安全。毕竟，没人希望因为在快速装载晶圆或进行日常维护时而被烫伤。此外，这种技术还能让晶圆的温度更加均匀，从而减少变形现象。
我们设计的这些产品可以轻松替代现有的加热器。只需将其替换掉，再连接PID控制器来控制温度，就可以了。这样就能避免能量浪费，同时确保设备表面温度不会过高，从而保护操作人员的安全。