停止浪费热量：为何选择镀金反射器
在加热硅晶圆时，每浪费一瓦特的能量，其实都是在白白浪费金钱。此外，这还会带来不必要的污染风险。大多数普通反射器只是将能量散射到各处，而我们则采用不同的方式——通过使用镀金反射器，将能量直接反射回晶圆表面。这样一来，您支付的电力就能真正用于产生热量，而不是被白白浪费掉。
为什么选择黄金？
这并非因为黄金外观华丽。实际上，黄金是反射红外光的最佳材料。铝虽然也很常见，但在高温环境下容易剥落或失去光泽，而黄金则能保持稳定状态。这样，我们就能将红外光集中在某个特定区域，从而让晶圆上的热流更加集中。这样一来，就不必将电压调得过高，从而避免灯具过早损坏。
净化空气
在半导体生产过程中，臭氧是个大问题，因为它会干扰化学反应。为了解决这个问题，我们使用了特殊的石英材料及过滤系统，来消除产生臭氧的短波紫外线。这样一来，就无需再为洁净室中的复杂净化系统而烦恼了。
关于硬件的注意事项
不过，把如此多的能量集中在这么小的空间里，会导致温度急剧上升。如果将这些装置用于高产量生产线中，就必须确保冷却系统能够承受额外的热量。否则，镀金层可能会脱落或氧化，进而导致温度分布不均。
如何使用
最棒的是，这些装置可以简单地替代现有的红外阵列。只需将它们连接到现有的电源上即可使用。您很快就能看到效果——晶圆表面的温度分布会更加均匀，不会再出现局部过热的情况，同时，在固化或退火过程中，晶圆的变形程度也会大大降低。它确实非常有效。