在光刻生产线上，如果在光刻胶烘烤过程中温度出现2°C的波动，就足以导致大量产品报废。我们重新设计了红外灯的固定装置，从而确保整个晶圆上的温度保持在±0.1°C的范围内。因为在这个行业里，产品的合格率取决于温度控制的精确度。
关键在于： 该固定装置能够将红外灯稳定地固定在适当位置，从而保证石英与发光体之间的对齐以及焦距的稳定性。它同时适用于短波和中等波长的光源，因此能够实现快速的热响应，且不会出现过热现象。此外，其使用的聚合物和金属材料具有出色的抗污染性能，因此适合在1级到100级的洁净室环境中使用。这样一来，就能实现稳定的烘烤温度，更好地控制晶圆的尺寸精度。
为何它适用于晶圆加工： 由于温度控制非常重要，该固定装置能够保持烘烤过程的稳定性，从而减少返工和光刻胶缺陷。它还能确保灯组在24/7不间断运行时仍保持稳定，从而减少非计划性的停机时间以及重复加热带来的能耗。如此一来，就可以更快地完成工艺参数的调试，提高重复性，同时避免因灯具位移或对齐不当而导致的故障。
安装注意事项： 安装时需要精确控制扭矩，确保灯具安装牢固；如果扭矩控制不当，温度可能会出现几十分之一的度数偏差。该固定装置适用于标准的安装导轨，但旧式的安装槽则可能需要定制的固定装置。此外，还需要定期检查对齐情况，同时确保操作环境符合洁净室标准，以保持极低的颗粒物含量。