Pada lini pengeluaran berukuran 200mm, proses pengeringan selepas pembersihan bukan sekadar masa yang terbuang. Ia merupakan langkah penting di mana tegangan permukaan, baki pelarut, dan kotoran mikro menentukan sama ada lapisan photoresist yang seterusnya dapat diletakkan dengan tepat mengikut spesifikasi yang ditetapkan – atau sebaliknya, ia akan gagal berfungsi dengan baik semasa proses litografi.
Apa yang benar-benar penting
Modul pengeringan wafer berukuran 200mm ini dibina berdasarkan profil suhu yang boleh diulang dengan tepat. Zon panas dalam modul ini memastikan suhu yang seragam sekitar ±0.1°C di seluruh permukaan wafer. Dengan cara ini, suhu yang digunakan untuk proses pengeringan akan memberikan hasil yang konsisten pada lapisan photoresist. Bilik dan saluran gas yang digunakan sesuai dengan standard bilik bersih kelas 1–100. Sistem ini direka agar tidak ada zarah kotoran yang masuk ke dalam sistem setelah ia beroperasi dengan stabil. Kami mengukurnya melalui suhu yang tetap, kadar perubahan suhu yang sama, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Mengapa ia berkelakuan seperti ini
Dalam praktiknya, kawalan suhu yang ketat dapat mengurangkan kecacatan yang timbul akibat air yang tersisa pada permukaan wafer, sehingga mengurangkan kerugian hasil pengeluaran. Kawalan suhu yang lebih ketat juga membolehkan proses pengeringan dilakukan tanpa mengecilkan waktu yang diperlukan, sekaligus meningkatkan kelancaran proses pengeluaran. Hasilnya, terdapat lebih sedikit kegagalan, lebih sedikit bahan buangan, dan wafer menjadi benar-benar kering sebelum langkah seterusnya dilakukan – tanpa risiko kontaminasi.
Apa yang perlu dirancang
Modul ini boleh digunakan bersama alat-alat pengeluaran 200mm yang sedia ada. Namun, sistem pengeluaran gas dan sistem pembuangan gas perlu disesuaikan dengan tekanan dan aliran udara di lokasi tersebut. Perlu ada masa untuk menyesuaikan profil suhu agar sesuai dengan jenis photoresist yang digunakan. Setelah itu, operasi akan berjalan dengan stabil. Namun, masa persiapan awal adalah penting – rencanakanlah dengan baik agar proses pengeluaran dapat berjalan secara efisien.