MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

적외선을 이용한 MEMS 웨이퍼 건조 방법 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 균형을 잘 맞춰야 합니다. 수분은 반드시 제거해야 하지만, 어떠한 잔류물도 남겨서는 안 되며, 반드시 하드웨어에 손상이 가지 않도록 해야 합니다. 그래서 우리는 적외선을 활용합니다. 화학물...