ウェーハ乾燥モジュール 200mm

200mmプロセスにおいて、洗浄後の乾燥処理は単なる停止時間に過ぎません。実際には、表面張力や残存する溶剤、微細な汚染物質が、次のフォトレジスト塗布が所定の基準を満たすかどうかを決定するのです。そうでなければ、リソグラフィー工程で問題が生じます。 実際に重要なのは何か 私たちの200mmウェーハ乾...